판매용 중고 CARL ZEISS / HSEB Axiospect 300 #9397356
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CARL ZEISS/HSEB Axiospect 300 마스크 및 웨이퍼 검사 장비는 반도체 웨이퍼, 마스크 및 포토 마스크의 검사 및 분석을위한 다재다능하고 매우 정밀한 자동 검사 시스템입니다. 이 단위는 전체 서피스 영역에 걸쳐 서피스, 결함, 오버레이와 같은 피쳐의 3 차원 광학 측정을 제공합니다. HSEB Axiospect 300은 높은 NA (High Numerical Aperture) 와 최고 수준의 필드 심도를 결합하여 초점과 해상도를 매우 정교하게 제공하여 자동 전체 표면 검사 및 세부 피쳐 식별을 모두 수행 할 수 있습니다. CARL ZEISS Axiospect 300은 광범위한 검사를 처리하기 위해 다양한 조명 모드를 통합하여 기계 (machine) 는 반사 샘플뿐만 아니라 표면 지형이 높은 이미징 표본을 효과적으로 처리 할 수 있습니다. Axiospect 300 (Axiospect 300) 은 결함 분류를 정확한 표준으로 분류하고, 샘플의 상태를 명확히 표현하고, 지역화된 결함을 식별하고, 대규모 오염을 제공합니다. 이것은 최대색 프레젠테이션에서 전기식 테스트 마크 (Electrical Test Mark) 와 같은 기능에 대한 다이 레벨 (Die Level) 검사까지 거의 끝없는 유형의 이미지 장면으로 온보드 이미지 획득에 의해 더욱 향상되었습니다. CARL ZEISS/HSEB Axiospect 300은 대규모 오염에 대한 간단한 영역 점검에서 나노미터 해상도까지 다양한 검사 모드 (예: 심층 광학 검사) 를 제공합니다. 고객 견본 및 요구 사항에 맞춰 보다 정확한 정확성을 보장할 수 있습니다 (영문). 원격 스토리지를 위한 네트워크 (Network for Remote Storage) 에 보고서와 데이터를 쉽게 업로드할 수 있으며, 검사 이미지를 직접 비교하여 오류 또는 결함을 신속하게 파악할 수 있습니다. 또한 해체 솔루션 및 특수 웨이퍼 스키드 (wafer skid) 와 같은 다양한 액세서리를 포함하여 HSEB Axiospect 300을 다양한 산업에서 사용할 수 있습니다. CARL ZEISS Axiospect 300은 안정적이고 사용하기 쉽기 때문에 마스크 및 웨이퍼 검사를위한 귀중한 도구입니다.
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