판매용 중고 CARL ZEISS / HSEB Axiospect 300 #9397354

CARL ZEISS/HSEB Axiospect 300은 마스크 및 웨이퍼 제조의 생산/포장 단계에서 결함을 감지하도록 설계된 정교한 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 하향식 (top-down) 및 하향식 (bottom-up) 검사 방법을 모두 사용하여 결함 감지 (defect detection) 를 최대화 (unatched accuracy) 하며 최대 300nm의 결함 해상도를 제공합니다. HSEB Axiospect 300 의 독보적인 설계는 실험실 규모와 대용량 운영 실행에 모두 원활하게 적용됩니다. 광학계 하중 포트와 잘못된 정렬 및 기판 편평도 (+/-2 "m) 보정 기능이있는 엘리베이터로 전문적으로 구성됩니다. 이 획기적인 장치는 200mm 및 300mm 웨이퍼 모두에서 가장 어려운 환경에서도 견고한 것으로 입증되었습니다. CARL ZEISS Axiospect 300은 고성능 옵틱을 사용합니다. 신호 대 잡음비를 최적화하는 450 FOV (field of view) 렌즈 머신, 정밀 도량형 및 결함 검출을위한 5 축 스테이지, 자동 결함 분류를 허용하는 DSP (digital signal processing) 도구를 갖추고 있습니다. Axiospect 300에는 마스크 및 웨이퍼 패널의 고급 검사 및 수리를 위한 전용 도량형 에디션이 있습니다. "Teach-and-Learn (교육 및 학습)" 자동 초점 자산이 있어 수동 조정에 소요되는 시간을 줄이고 검사 정확도를 높입니다. "라이브 미리보기 (Live Preview)" 기능으로 정밀도 정렬이 향상되고 신속한 결함 인식이 가능합니다. 또한, 모델은 자동으로 결함 복구 (Automatic Defect Repair) 도구를 사용하여 효율적인 방법으로 정의된 결함을 제거합니다. 이 장비는 웨이퍼 (wafer) 검사에 최적화된 강력한 이미지 분석 알고리즘 덕분에 거의 모든 유형의 결함을 자동으로 해결할 수 있습니다. 또한 CARL ZEISS/HSEB Axiospect 300은 전체 반도체 웨이퍼를 검사하며 ASML 및 E-beam 석판 시스템과 함께 작동하는 고급 소프트웨어로 제작되었습니다. HSEB Axiospect 300 (HSEB Axiospect 300) 은 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 제조의 다양한 생산 및 도량형 단계에서 빠르고 정확한 결함 감지 및 수리를 용이하게 하는 완벽한 고급 이미징 솔루션을 제공합니다. CARL ZEISS Axiospect 300은 탁월한 기능으로, 전 세계 마스크 및 웨이퍼 제작 및 생산 공장에 이상적인 선택입니다.