판매용 중고 CARL ZEISS AIMS 248 #9251826

CARL ZEISS AIMS 248 (CARL ZEISS AIMS 248) 은 마스크 및 웨이퍼 표면의 검토 및 평가에서 최첨단 정확성과 정확성을 제공하기 위해 혁신적인 이미징 기술을 통합하는 마스크 및 웨이퍼 검사를위한 자동 검사 장비입니다. 이 검사 시스템은 독특한 텔레센트릭 (Telecentric) 광학 플랫폼을 갖추고 있으며, 기존의 광학 시스템에 비해 광학 전력 및 시간의 1% 미만을 활용하면서 뛰어난 화질을 제공합니다. 이 장치에는 고해상도 컬러 CCD (Color CCD) 카메라가 내장되어 있는데, 이 CCD 카메라는 향상된 필드 깊이와 탁월한 수준의 이미지 선명도를 통해 이미지를 캡처할 수 있습니다. 검사 프로세스를 더욱 최적화하기 위해 AIMS 248 (Automated Focus Adjustment Machine) 에는 초점 드리프트를 식별하고 수정하고 이미지 리뷰에 정확한 정확성을 도입 할 수있는 자동 초점 조정 머신이 포함되어 있습니다. 이 기능은 검사 프로세스를 완료하는 데 소요되는 시간을 대폭 단축하며, 데이터를 이전보다 더 빠르게 해석할 수 있게 합니다 (영문). 또한, 이 도구는 결함을 감지하기위한 통합 컴퓨터 제어 웨이퍼 및 마스크 위치 센서, 최대 0.0001cm의 위치 정확도, 동적 스캔 속도 조정, 직관적인 데이터 분석 도구 등 여러 가지 지원 기능을 제공합니다. CARL ZEISS AIMS 248은 광학 프로파일 로메트리 (optical profilometry) 라는 혁신적인 현미경 기술을 사용하여 박막 표면 프로파일, 모양 및 기타 표면 결함을 극도로 정확하게 측정 할 수 있습니다. 이 고급 자산은 50 nm 미만의 해상도로 표면 불완전성과 결함을 감지하고 분석 할 수 있습니다. 이 모델은 박막 입자 위치 측정을위한 레이저 기반 입자 카운터 (laser based particle counter), 표면 결함의 세부 분석을위한 고해상도 현미경 부착 (high resolution microscopy attachment), 표면 반사율 측정을위한 산란계 (scatterometer), 표면 특성의 정확한 측정을위한 다양한 입사 부착 각과 같은 다양한 액세서리를 특징으로합니다. 이 기능들은 AIMS 248을 마스크 및 웨이퍼 검사를위한 우수한 도구로 만들었습니다. 이 장비는 놀라운 이미징 성능, 향상된 정확성, 최대 사용 편의성을 제공합니다. 다양한 액세서리와 사용자 정의 가능한 이미징 매개변수를 갖춘 CARL ZEISS AIMS 248은 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 프로세스에 대한 검사 요구 사항을 충족시킬 수 있습니다.