판매용 중고 CARL ZEISS AIMS 193 #293795556

CARL ZEISS AIMS 193은 최첨단 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 제품은 고해상도 모듈식 검사 시스템 (modular inspection system) 을 갖추고 있어 집적회로 제조에 사용되는 포토마스크 (photomask) 의 최고 품질을 보장하는 이상적인 솔루션입니다. CARL ZEISS AIMS193에는 F-Theta-Corrected Distortion Compensator가 장착되어 있으므로 이미징 빔이 정확하게 집중되어 마스크 표면에 정렬됩니다. 이렇게 하면 마스크가 전체적으로 검사되고, 모든 결함이 감지됩니다. 빔은 또한 조정 가능한 스팟 크기를 가지며, 다양한 이미징 요구 사항을 위해 유닛의 유연성을 제공합니다. 이 기계에는 고해상도 이미징 광학이 장착되어 있는데, 이는 하위미크론 수준의 결함을 감지 할 수 있습니다. 광학은 라인 공중 이미징 (Line Aerial Imaging) 으로 넓은 영역 스캔과 라인을 위해 설계되었습니다. 이 기능을 사용하면 모든 크기나 구조의 마스크를 빠르고 정확하게 검사할 수 있습니다. AIMS 193은 또한 고속 노출 설정을 가지고 있으므로 빠른 검사 주기를 허용합니다. 이것은 대용량 마스크 생산 라인에 이상적인 선택입니다. 마지막으로, 이 도구에는 최첨단 결함 감지 알고리즘 (state-of-the-art defect detection algorithm) 이 장착되어 있어 가장 미세한 결함조차도 식별 할 수 있습니다. 이 알고리즘을 사용하면 엔지니어가 마스크 생산 프로세스에서 가능한 결함을 이전보다 더 빠르고 정확하게 식별 할 수 있습니다 (영문). 요약하면, AIMS193은 가장 까다로운 어플리케이션을 위해 설계된 최첨단 마스크 및 웨이퍼 검사 에셋입니다. 고해상도 광학 (Optic) 과 강력한 결함 감지 알고리즘이 장착되어 있어 서브 미크론 (Sub-micron) 수준까지 결함을 식별 할 수 있습니다. 고속 노출 설정은 대용량 마스크 (mask) 생산 라인에 적합하므로 엔지니어에게 최고 품질의 포토마스크 (photomask) 생산을 보장하기 위해 필요한 정확성과 유연성을 제공합니다.