판매용 중고 BUCCINI LUPI #9222635
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판매
ID: 9222635
Interferometers
High-resolution cameras
High-speed allied stingray cameras
Phase-shifting upgrade
Diverging lenses.
BUCCINI LUPI는 빠르고, 정확하고, 신뢰할 수있는 이미지를 제공하도록 설계된 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 최신 광학, 레이저 조명, 고급 이미지 처리 (advanced image processing) 기술을 활용하여 다양한 마스크 패턴의 이미지를 캡처합니다. LUPI는 단일 노출시 2 차원 마스크 패턴 측정으로 우수한 해상도와 동적 범위를 제공합니다. 이 시스템은 기존 유닛 솔루션과 손쉽게 통합할 수 있는 반자동 (semi-automated) 환경에서 사용하도록 설계되었습니다. 마스크 패턴의 고해상도 이미지를 넓은 뷰 (field of view) 와 기판 서피스 (substrate surface) 로 캡처할 수 있습니다. 이렇게 하면, 마스크 패턴을 기판 표면의 픽셀과 정확하게 정렬할 수 있으므로, 매우 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 시스템에는 다양한 운영 모드, 자동화된 프로세스 제어 (Automated Process Control), 결함 캡처 기능, 다양한 분석 기능 등 다양한 기능이 포함되어 있습니다. 평면마스크 패턴 (planar mask pattern) 과 평면마스크 패턴 (non-planar mask pattern) 을 포함하여 다양한 복잡한 패턴에서 결함을 감지하고 인식 할 수 있습니다. 또한 이 도구는 캡처한 이미지의 품질과 관련하여 사용자에게 실시간 피드백 (feedback) 을 제공합니다. 또한, BUCCINI LUPI는 마스크 패턴 및 기판과 관련된 다양한 매개 변수를 분석, 평가할 수 있습니다. 마스크 패턴의 누락 (missing), 정렬 (misaligned) 및 결함 (defective) 픽셀과 같은 문제를 감지하고 기판의 균일성을 측정할 수 있습니다. 이 에셋에는 다양한 이미징 (Imaging) 기능이 있어 다양한 관점에서 이미지를 캡처할 수 있으며, 마스크 패턴의 상단 (Top) 및 하단 (Bottom) 모서리에서 상세한 검사를 수행할 수 있습니다. LUPI 의 첨단 소프트웨어/하드웨어 기술을 통해 TCO (총소유비용) 를 낮추면서도 고품질의 정확한 이미지를 제공할 수 있습니다. 이 모델은 작동이 간편하고 유지 보수가 용이하도록 설계되었으며, 다양한 어플리케이션 (application) 에 이상적인 제품입니다. 또한, 유연성을 통해 업계의 변화하는 요구를 충족할 수 있도록 쉽게 업그레이드할 수 있습니다.
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