판매용 중고 BROWN & SHARPE Xcel 9-15-9 #9177715
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ID: 9177715
빈티지: 2000
DCC Coordinate measuring machine
Measuring range:
X-Axis: 35.4”
Y-Axis: 59.1”
Z-Axis: 35.4”
Distance between posts: 43”
Distance under rail: 35”
Black granite table: 51” x 86.5” x 8”
Software: PC-DMIS
Joy stick controls
Renishaw PH-10MQ probe
Renishaw SCR-200 6-Position stylus changing rack
Renishaw maps 6-Position probe stand
2000 vintage.
THEBROWN&SHARPE BROWN&SHARPE Xcel 9-15-9는 최고 표준에 대한 균일성과 정확성을 보장하기위한 최첨단 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 15 인치 레이저 투영 시스템은 미달의 정확성, 추적 가능성, 결함 특성의 반복성으로 검사 과정을 개선하도록 설계되었습니다. 이 장치는 99.9% 의 반복 성과 1 미크론 해상도의 탁월한 이미지 선명도 및 측정 정확도를 제공합니다. 타원형, 둥글고 예리한 모서리, 선/가장자리 측정의 프로젝트 계산으로 연산자 변수가 제거됩니다. 이 기계에는 Xcel Wafer Mapping Tool과 Xcel Wafer Mask Inspector의 두 가지 고급 자동 광학 비교 도구가 포함되어 있습니다. Wafer Mapping Tool은 전체 마스크와 마스크가 없는 웨이퍼를 모두 측정할 수 있습니다. 기존의 "패턴 인식 (pattern recognition)" 기술과 비교하여 고급 "빔 위치 감지 (beam position sensing)" 를 사용하여 웨이퍼 기능을 가장 정확하게 분석하고 비교합니다. [웨이퍼 마스크 검사기] 는 불투명 및 투명 재질의 패턴을 평가하는 한편, 결함을 감지하기 위해 마스크 및 웨이퍼 패턴에 대한 매우 정확한 정보를 제공합니다. 또한 마스크 패턴 플랜의 빠른 디지털화 및 비교를 위해 독점 광학 문자 인식 (Optical Character Recognition) 기술이 적용된 고성능 이미징 도구를 갖추고 있습니다. Xcel 9-15-9 자산은 SEMI M1-1010: Mask-Wafer Overlay Standard 측정 프로그램을 통합하여 웨이퍼와 마스크 모두에서 설계와 제작의 차이를 검사합니다. 또한, 이 모델은 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 데이터 관리 및 분석을 강화하기 위해 여러 소프트웨어 패키지를 제공합니다. Xcel 마스크 디자인 인터페이스 (Xcel Mask Design Interfacees) 를 사용하면 설계 파일을 업로드한 다음 마스크 계획을 생성할 수 있습니다. 마스크 계획은 기존 마스크에 대해 검증할 수 있으며 제작하기 전에 3D로 시각화됩니다. Xcel 피쳐 추출 도구 (Xcel Feature Extraction Tools) - 피쳐, 형상 및 치수의 자동 감지와 패턴을 식별하는 마스크 및 웨이퍼 매핑을 사용할 수 있습니다. 즉, 여러 웨이퍼를 동시에 비교할 수 있게 되어 보다 정확한 특성을 측정할 수 있습니다. THEBROWN&SHARPE BROWN&SHARPE Xcel 9-15-9는 모든 반도체 fab 회사에 귀중한 도구이며 마스크 및 웨이퍼 기능을 검사 할 때 전례없는 정밀도를 제공합니다. 자동화된 광학 비교 도구, 고성능 이미징 장비, 소프트웨어 패키지 (소프트웨어 패키지) 의 조합은 문제없는 생산에 대한 업계 최고의 정확성을 제공합니다.
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