판매용 중고 BROWN & SHARPE 4.5.4 SF #9286760
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ID: 9286760
Coordinate Measuring Machine (CMM)
Envelope size: 700 x 1000 x 700 mm
Accuracy: 3.0+3.01/1000.
BROWN&SHARPE 4.5.4 SF (BROWN&SHARPE 4.5.4 SF) 는 생산 마스크와 웨이퍼의 결함을 빠르고 정확하게 감지하도록 설계된 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 여러 기술을 사용하여 다이-투-다이, 영역-벡터 매핑, 양면 스텐실 인쇄, 스루-홀 단면 분석 등 IC 웨이퍼와 마스크의 양면을 신속하게 검사합니다. 이 시스템은 단일 기술자가 여러 가지 기능을 동시에 수행할 수 있게 해 주며, 제품 요구사항에 맞게 손쉽게 조정할 수 있습니다 (영문). 이 장치의 양면 스텐실 (양면) 인쇄 기능은 원래 설계된 패턴과 실제 마스크에 쌓인 패턴의 차이를 자동으로 감지합니다. 그런 다음, 이 정보를 사용하여 마스크의 물리적 특성을 확인합니다. 기계는 아크릴 얼룩과 함께 폴리 우레탄 (polyurethane) 의 양면 라미네이션을 사용하여 마스크 홀더에 균일 한 마스크를 형성합니다. 그런 다음 마스크에 있는 결함을 식별할 수 있습니다. 웨이퍼 검사의 경우 도구는 영역-벡터 매핑 기술을 사용합니다. 이 기술을 사용하면 웨이퍼 양쪽에 다이-투-다이 (die-to-die) 데이터를 자동으로 매핑할 수 있습니다. 웨이퍼 (wafer) 의 각 측면에 대한 묘사는 매핑 데이터 (mapping data) 를 기반으로 하며 주로 웨이퍼의 결함을 감지하는 데 사용됩니다. 에셋의 스루 홀 횡단면 분석 (through-hole cross-section analysis) 기능은 미세한 이미지를 사용하여 웨이퍼의 접촉 손가락 사이의 상호 연결 간격에서 결함을 검색합니다. 각 접점 손가락을 스캔하고 간격 너비 (gap width) 를 측정하여 작은 결함을 감지하는 데 카메라가 사용됩니다. BROWN&SHARPE 4.5.4 SF 모델은 기존 시스템의 일부 시간에 웨이퍼 및 마스크 검사를 수행 할 수 있습니다. 이 제품은 빠른 설치 (Quick Setup) 및 작동을 위해 설계되었으며, 단일 엔지니어가 동시에 여러 기능을 실행할 수 있습니다. 또한, 다양한 프로세스 요구 사항을 충족하도록 장비를 쉽게 조정할 수 있습니다. 따라서 마스크 (Mask) 와 웨이퍼 (Wafer) 검사를 수행할 때 시간을 절약하고 신뢰성을 높이려는 사람들에게 이상적입니다.
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