판매용 중고 BROOKS AUTOMATION Zaris #9257397

BROOKS AUTOMATION Zaris는 BROOKS AUTOMATION의 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. "마스크 '와" 웨이퍼' 가 제조 공정 중 에 결함 과 오염 물질 을 검사 하는 완전 한 자동화 "시스템 '이다. 이 장치는 가장 작은 결함까지도 정확하게 감지, 현지화하여 미션 크리티컬한 의사 결정을 내릴 때 필요한 가시성 (visibility) 및 자신감 (confidence) 을 제공합니다. 이 기계는 높은 처리량, 고감도 자동 검사를 제공하도록 설계되었습니다. 최대 4 개의 웨이퍼 크기와 12 개의 마스크 크기로 다양한 마스크 및 웨이퍼 크기를 검사 할 수 있습니다. 이 도구에는 ATR (Automatic Target Recognition) 과 SEC (Stochastic Edge Comparison) 의 두 가지 검사 헤드 옵션이 있습니다. ATR은 복잡한 결함 감지 및 현지화에 사용되며, SEC는 미세 결함 검사 및 거짓 음의 최소화에 사용됩니다. Zaris는 이미지 캡처, 분석 및 검토 기능을 갖추고 있습니다. 이 자산은 각 제품에 대해 사용자 정의된 특수 검사 알고리즘을 사용하여 장치 성능, 수율, 신뢰성에 영향을 줄 수 있는 비가시 (non-visible) 결함을 정확하게 검사합니다. 또한 고급 이미징 알고리즘을 사용하여 결함 감지를 개선하고 false positives를 줄입니다. 고유한 자동 머신 러닝 (automated machine learning) 기능을 통해 이미지 캡처 및 측정 창 크기를 최적화하여 마스크 또는 웨이퍼 (wafer) 의 전체 표면에서 정확한 측정이 가능합니다. 검사 결과는 사용자가 신속하게 데이터를 평가할 수 있는 다양한 형식으로 제공됩니다 (영문). BROOKS AUTOMATION Zaris는 또한 표면 지형 정보와 자세한 결함 맵을 3D 시각화 할 수 있습니다. 직관적인 사용자 제어 기능을 통해 설치 (setup) 는 빠르고 쉽고, 모델은 자동으로 품질을 제어할 수 있습니다. 또한 높은 장비 안정성과 반복 가능한 성능을 제공하여 일관된 결과를 보장합니다. 자리스 (Zaris) 는 최고의 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템으로, 복잡한 결함을 신속하게 검사, 로컬라이제이션 및 특성화할 수있는 기능을 제공합니다. 이 제품은 정교한 이미징 (Imaging) 기능과 자동 분석 기능을 갖추고 있어 모든 품질 관리 (Quality Control) 요구 사항에 적합합니다. 브룩스 자동화 자리스 (BROOKS AUTOMATION ZARIS) 장치는 고성능 자동 검사를 제공하여 미션 크리티컬한 의사 결정을 내릴 때 고객이 필요로 하는 가시성과 자신감을 제공합니다.