판매용 중고 BROOKS AUTOMATION BL-200 #9079943

BROOKS AUTOMATION BL-200은 단일 및 멀티 다이 검사 기능을 제공하는 차세대 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 자동 검사 시스템은 초기 설정, 설계 검증, 반도체 제조 작업의 마스크 (mask) 및 웨이퍼 (wafer) 단계에 대한 프로세스 참조 점검에 이상적입니다. 이 장치는 멀티 라인 레이저 센서를 사용하여 가장 작은 입자 또는 결함조차 감지하는 매우 민감한 2D 검사 원리를 특징으로합니다. 이 "레이저 '들 은 상하" 커버리지' 를 제공 하기 위하여 장치 의 전면 과 후면 에 장착 된다. 추가 LED 광원을 기계에 추가하여 광학 결함 (예: 스크래치 및 기타 피로 기능) 의 감지를 개선 할 수 있습니다. 또한 사용자 친화적 인 터치스크린 인터페이스, 자동화된 모델 보정 기능, 웹 기반 GUI 를 통한 원격 작업 기능 (Remote Operation Feature) 등 다양한 기능을 통해 자산 설정 및 운영을 손쉽게 수행할 수 있습니다. 이 GUI를 사용하면 검사 결과, 입력, 설정 등의 필수 장비 정보에 쉽게 액세스할 수 있습니다. BL-200 시스템은 모든 방향과 표면에 장착 할 수 있습니다. 호환 가능한 다양한 진공 (vacuum) 및 포트 형식 (port format) 은 완벽한 적합성을 보장하며 여러 검사소 사이에서 장치를 빠르게 이동할 수 있습니다. 이 기계는 강력한 이미지 처리 엔진 (Image Processing Engine) 으로 구동되며, 단일 스캔에서 여러 개의 다이를 정확하고 신속하게 검사할 수 있습니다. 표면 오염 물질, 굴, 긁힘 등 다양한 결함을 식별 할 수 있습니다. 또한 핀 결함, 에지 수차, 쇼트, 오픈 등의 전자 결함을 감지 할 수 있습니다. 브룩스 자동화 (BROOKS AUTOMATION) BL-200 도구는 핵심 검사 기능 외에도 고급 결함 분석을 제공하여 복잡한 결함을 정확히 파악하고 분류 할 수 있습니다. 특정 다이에서 격리 또는 클러스터링된 결함을 신속하게 식별하는 통합 Optical Scatter Analysis 모듈; 알려진 패턴이나 선을 감지하고 측정하는 패턴 일치 (Pattern Matching) 피쳐 BL-200 마스크 (BL-200 Mask) 와 웨이퍼 검사 (Wafer Inspection) 자산은 고급 기능과 안정적인 성능을 결합하여 오늘날의 반도체 제조업체의 요구를 충족하는 데 적합합니다. 최고 수준의 제품 품질을 보장할 수 있는 최고 속도, 최적의 정확도, 일관된 성능을 제공합니다 (영문).