판매용 중고 BROOKS AUTOMATION 3L #9197117

브룩스 자동화 3L (BROOKS AUTOMATION 3L) 은 반도체 웨이퍼 제작 환경에서 사용하도록 만들어진 완전 자동화 웨이퍼 및 마스크 검사 장비입니다. 이 시스템은 최첨단 이미징 및 분석 (analysis) 기술을 사용하여 결함에 대한 웨이퍼 패턴과 마스크를 검사하는 고해상도 웨이퍼 패턴 인식 플랫폼입니다. 이 장치는 정밀 광학 정렬을위한 고급 이중 파장 Renishaw 레이저 간섭계를 갖추고 있습니다. 이렇게 하면 각 "웨이퍼 '를 정확 하게 검사 하고 전체" 웨이퍼' 패턴 에 걸친 "데이터 포인트 '와 관련 하여 캡처 된" 이미지' 를 올바로 배향 하게 된다. 또한 이중 파장 레이저는 최소한의 오류를 보장하고 결함 감지 및 분석의 정확성을 최대화합니다. 3L 머신은 최신 패턴 인식 소프트웨어 (pattern recognition software) 를 사용하여 웨이퍼 패턴의 미묘한 변형을 감지 할 수 있습니다. 또한 긁힘, 구덩이, 공백, 입자 등 다양한 결함을 감지 할 수 있습니다. 이 자산은 또한 광범위한 이미지 분석 도구 (image analysis tools) 를 제공하여 사용자가 심각한 결함 감지 및 분석 작업을 수행할 수 있도록 합니다. 브룩스 자동화 3L (BROOKS AUTOMATION 3L) 모델은 고급 에지 감지 알고리즘을 사용하여 모서리를 정확하게 감지하고, 이미지 처리 알고리즘을 사용하여 웨이퍼 패턴의 초고해상도 이미지를 생성합니다. 고유한 소프트웨어 알고리즘을 통해 장비는 복잡한 웨이퍼 패턴에서도 결함 (예: 입자, 공백) 을 감지 할 수 있습니다. 고급 이미지 처리 (advanced imaging) 기능과 더불어 고급 데이터 분석 도구 (advanced data analysis tools) 도 포함되어 있습니다. 이 제품군을 사용하면 다양한 유형의 결함을 검색, 분석하고 프로세스 변형을 분석할 수 있습니다. 또한 아카이빙된 데이터에 대한 포괄적인 데이터베이스 (database of archived data) 를 제공하여 잠재적인 프로세스 변형을 신속하고 정확하게 파악하고 평가할 수 있습니다. 간단히 말해, 3L은 반도체 제작 환경에서 사용하도록 설계된 고성능 웨이퍼 및 마스크 검사 기계입니다. 이 툴은 고급 광 정렬 기술, 패턴 인식, 이미지 처리 기능, 결함 감지 및 분석 알고리즘, 아카이빙된 데이터의 포괄적인 데이터베이스 등을 갖추고 있습니다. 따라서, 자산은 매우 정확하고 신뢰할 수있는 결과를 제공하므로, 사용자는 잠재적인 프로세스 변형을 신속하게 파악하고 해결할 수 있습니다.