판매용 중고 BIO-RAD Quaestor Q7 #9240605
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ID: 9240605
Overlay metrology system
KINETIC SYSTEMS Vibraplane air table included
Table dimensions: 40" W x 44" L x 36" H.
BIO-RAD Quaestor Q7 (BIO-RAD Quaestor Q7) 은 고해상도 이미지 분석 및 결함 특성화를위한 반도체 제조업체 및 연구 연구소의 요구를 충족하도록 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 유연한 광학으로 웨이퍼 (wafer) 의 넓은 영역에 대한 고속 이미징 및 이미지 분석을 제공하므로 사진 (photolithography) 패턴, 돌출 (overhangs) 및 표면 세부 사항 (surface details) 과 같은 작은 지형 특징을 자세히 분석하고 특성화할 수 있습니다. 기계적 단계 (mechanical stage) 와 스캐닝 단계 (scanning stage) 는 정확한 웨이퍼 위치를 제공하며 대용량 이미징을 정확하게 정렬합니다. BIO-RAD QUAESTOR Q 7 검사 장치는 전극, 패드, 선폭 및 기타 기능과 같은 여러 유형의 결함을 감지 할 수 있습니다. 웨이퍼 표면 측정, 이미지 획득 및 이미지 분석, 검사 등 이미징 응용을위한 3 가지 광원이 있습니다. 이 기계에는 고해상도 5.5mp CMOS 검출기와 초고속 이미지 획득 및 처리 속도가 장착되어 있습니다. Q7 툴은 강력한 이미지 분석 및 데이터 마이닝 소프트웨어를 통해 패턴과 결함을 빠르고 정확하게 파악합니다 (영문). 자동화된 툴링 지원을 통해 사용자는 이미지 패턴과 결함을 식별, 격리, 특성화할 수 있습니다. 또한, 고급 서피스 분석 도구는 정확한 선 매개변수 측정, 결함 및 프로파일 측정, 데이터 마이닝의 분석에서 데이터를 분석하는 데 필요한 시간을 크게 단축시킵니다. 에셋은 사용하기 쉽고, 결함 감지, 패턴 인식, 결함 특성 등 다양한 애플리케이션이 포함된, 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 를 제공합니다. 공통 서피스 매개변수의 포괄적인 라이브러리는 이미지 분석을 단순화합니다. 또한 바코드 스캐너를 사용하면 배치 ID (batch ID) 및 로트 크기 (lot size) 와 같은 웨이퍼 세부 정보와 빠르게 연결할 수 있습니다. Quaestor Q7 마스크 및 웨이퍼 검사 모델은 모두 반도체 검사를위한 포괄적 인 도구입니다. 고속 이미징 및 이미지 분석을 제공하여 작은 지형 기능의 정확한 특성을 제공합니다. 이 장비의 강력한 데이터 마이닝 (mining) 및 이미지 분석 소프트웨어는 결함의 빠르고 정확한 감지 및 특성을 보장합니다. 직관적인 사용자 인터페이스와 유연한 광학 (optic) 이 특징이며 시스템 성능을 더욱 향상시킵니다.
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