판매용 중고 ATI AVIS-5000N #293590750
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ATI AVIS-5000N은 반도체 제조 시설을 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 리소그래피, 전기, 오버레이 및 TEM (transmission electron microscopy) 검사를 포함한 다양한 웨이퍼 검사 작업을 수행 할 수 있습니다. 이 장치는 5 축 로봇 모터 머신 (robotic motor machine) 주위에 만들어져 전체 웨이퍼 표면을 가로 질러 웨이퍼 검사 헤드를 이동할 수 있습니다. 이 도구는 하위 픽셀 정확도를 달성하여 분 (minute) 결함을 감지 할 수 있습니다. AVIS-5000N은 vision 및 touch 센서 기술을 모두 사용하여 다양한 결함을 감지합니다. 비전 (Vision) 기술을 사용하면 웨이퍼 서피스의 개체가 정확하게 배치되거나 정렬되지 않는 마스킹 오류 (예: 추가 선 또는 누락) 및 오버레이 (overlay) 오류를 식별할 수 있습니다. 에셋은 또한 브리지, 반바지, 전기 접점, 결정 구조의 비 균일 성을 감지 할 수 있습니다. 이 모든 결함은 실시간으로 감지 할 수 있습니다. 즉, 웨이퍼 검사 (wafer inspection) 는 전체 웨이퍼를 분해하지 않고도 완료 할 수 있습니다. ATI AVIS-5000N은 사용자에게 더욱 빠르고 쉽게 웨이퍼 검사를 수행할 수 있는 다양한 기능을 제공합니다. 여기에는 완전 자동 마스킹/마스킹 해제 (unmasking) 프로세스와 로봇 단계에 대한 웨이퍼의 자동 정렬 (automatic alignment) 이 포함됩니다. 따라서 더 크고, 더 복잡한 웨이퍼를 검사하는 프로세스가 훨씬 더 매끄럽습니다. 또한, 이 모델은 인체 공학 제어 콘솔 (ergonomic control console) 을 제공하여 운영자가 검사 설정을 빠르게 조정할 수 있습니다. AVIS-5000N 은 종합적인 웨이퍼 검사 솔루션이 필요한 반도체 제조업체에 이상적인 장비입니다. 다양한 기능과 기술을 갖춘 ATI AVIS-5000N 은 Wafer 결함을 파악하고 수정할 수 있는 안정적이고 효율적인 솔루션을 제공합니다. 또한, 고급 안전 및 환경 대책으로, 웨이퍼 검사를 수행하기 위해 안전하고 깨끗한 환경을 제공합니다. 이 시스템은 SMB (중소, 중견, 성장 기업) 제조 시설에 적합하며, 운영 라인의 결함을 파악하는 데 비용 효율적이고 효율적인 방법을 제공합니다.
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