판매용 중고 ASYST OFH 3000Q #9013400

ASYST OFH 3000Q 장비는 측정 및 검사 작업을 신속하게 수행하도록 설계된 완전 자동화 된 MWI (Mask and Wafer Inspection) 시스템입니다. 이 장치에는 MWI 테스트 및 검증을위한 종합적인 머신을 제공하기 위해 최신 optics, computer processing 및 image acquisition 소프트웨어가 포함되어 있습니다. OFH 3000Q 도구는 24 "x 24" 의 카메라 필드와 함께 시간당 최대 300 개의 웨이퍼로 높은 지속 처리량을 갖추고 있습니다. 이 자산은 패턴 인식 (pattern recognition) 과 정교한 알고리즘을 사용하여 장애 지점을 검사하며, 모든 결함에 대한 정확하고 포괄적인 통찰력을 제공하여 빠르고 신뢰성 있는 품질 (quality assurance) 을 보장합니다. 이 모델에는 반자동 (semi-automated) 기능과 자동 (automated) 기능이 모두 장착되어 있어 뛰어난 유연성을 제공합니다. 반자동 기능에는 수동 사진 및 패턴 오버레이 기능과 보조 테스트 기능이 포함됩니다. 장비의 자동 기능에는 마스크 정렬 및 웨이퍼 스캔, 결함 및 마크 감지, 스루 마스크 확인, 마크 중심 등이 있습니다. 이 시스템은 결함 감지 민감도 0.6 Arc-sec, 표준 편차 0.2 Arc-sec 및 반복 가능성 0.01 Arc-sec로 높은 반복 성과 정확성을 위해 설계되었습니다. 이 장치에는 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 확인 프로세스를 간소화하여 검토를 위한 명확한 결과를 제공하는 최첨단 소프트웨어 (최첨단 소프트웨어) 도 포함되어 있습니다. ASYST OFH 3000Q 기계는 운영자 안전을 염두에두고 설계되었습니다. 이 도구에는 항먼지 (Anti-Dust) 및 오염 챔버 (Contamination Chamber) 에 의해 보호되는 고품질 이미징 에셋이 포함되어 있어 모델의 민감한 광학 부품을 손상시킬 수있는 위험한 먼지, 연기 및 기타 오염 물질을 유지합니다. 또한 자가 학습 안전 기능 (Self Learning Safety Feature) 은 시스템 설정을 자동으로 조정하여 잠재적으로 위험한 상태를 방지합니다. OFH 3000Q 장치는 사용 편의성, 탁월한 정확성 및 반복성, 운영자 안전에 중점을 두도록 설계된 포괄적인 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 머신입니다. 이 도구는 신뢰할 수 있는 고속 마스크, 웨이퍼 (wafer) 검사 솔루션을 원하는 모든 기업에게 적합한 솔루션입니다.