판매용 중고 ASML / HMI eP3 #293637176
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ID: 293637176
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2013
Wafer inspection system, 12"
Chamber
(2) Loadports
2013 vintage.
ASML/HMI eP3 (ASML/HMI eP3) 은 실리콘 웨이퍼 및 인쇄 회로 기판에 결함이 있음을 감지하기 위해 설계된 차세대 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 정교하고 고급 장비는 광학 이미징 (optical imaging) 을 사용하고 웨이퍼 (wafer) 또는 회로 기판 (circuit board) 을 통해 광선을 통과하여 미세 및 기계적 결함을 식별합니다. 결함은 프로세스 또는 항복 손실을 유발하기 전에 식별 할 수 있습니다. HMI eP3는 고해상도 광학 이미징 장치와 자외선 여분의 레이저로 제작되었습니다. 자동 고해상도 디지털 이미징 시스템은 웨이퍼 (Wafer) 및 회로 (Circuit) 보드의 모든 마이크로 기능을 보여줍니다. 영상 공정에 사용되는 자외선 여기 레이저 (ultraviolet excitation laser) 는 높은 정확도로 자외선 조명을 생성합니다. 이 조명은 웨이퍼 (wafer) 와 회로 (circuit) 기판 모두에서 결함과 결함을 정확하게 감지 할 수 있습니다. 또한 ASML eP3에는 특수 결함 분류 및 분석 장치 (special defect classification and analysis unit) 가 장착되어 있으며, 고급 알고리즘을 사용하여 실리콘 웨이퍼의 작은 결함을 식별, 분류 및 분석합니다. 이 기계는 주어진 결함의 심각도와 결과를 모두 빠르고, 안정적이며, 효율적인 평가, 측정할 수 있습니다. 또한, 이 도구에는 정확한 정밀도로 빠른 측정이 가능한 자동 초점 및 자동 지점 시스템이 포함됩니다. 이 시스템들은 더 크고 복잡한 웨이퍼 (wafer) 와 회로 (circuit) 보드를 검사할 수 있습니다. 에피에피에프 (EP3) 는 "광학 흥분 레이저 빔 (optical excitation laser beam) '과" 자동 초점 모델 (auto-focus model)' 을 동적으로 제어할 수 있는 지능형 소프트웨어 자산을 탑재했다. ASML/HMI eP3 을 사용하면 검사된 모든 웨이퍼 또는 회로 기판에 대한 종합적인 세부 정보를 액세스할 수 있습니다. 종합적인 데이터베이스는 3 백만 개 이상의 웨이퍼 (wafer) 에 대한 정보를 저장하여 검사 과정에서 높은 수준의 정확성과 신뢰성을 보장합니다. 요약하자면, HMI eP3 는 클라이언트에게 안정적이고 경제적인 솔루션을 제공하여 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 및 인쇄 회로 (printed circuit) 보드의 결함을 빠르고 정확하게 감지하고 평가할 수 있도록 설계되었습니다. 이 장비에는 고급 광학 이미징 시스템 (Optical Imaging System), 결함 분류 및 분석 장치 (Defect Classification and Analysis Unit), 자동 초점 및 스팟 시스템 (Auto-Focus and Spot System) 및 포괄적인 데이터베이스 (Comprehensive Database) 가 장착되어 있어 뛰어난 정확도로 높은 양의 데이터를 처리할 수 있습니다.
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