판매용 중고 ASM TLB 139 #9362813

ASM TLB 139는 마스크 및 웨이퍼 표면의 자동, 고속 패턴 형상, 결함 특성 및 금속 분석을 위해 설계된 다용도 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 단일 점부터 선형 결함까지, 그리고 2D 및 3D 패턴 형상의 전체 결함 특성 프로파일을 생성할 수 있습니다. TLB 139는 또한 마스크 및 레티클 검사를위한 전용 소프트웨어 패키지, 패턴 구조 분석, CD/OCD 측정, 리플 분석 등 패턴 분석을위한 광범위한 자동 기능을 제공합니다. ASM TLB 139의 본체는 고해상도 CCD (2 단계 charge-coupled device) 카메라와 함께 최신 고해상도 광학 기술을 사용하여 각 검사의 해상도 및 확대 기능 모두에서 매우 높은 수준의 세부 사항 및 정밀도를 제공합니다. 각 기능에 대한 적절한 확대/초점 수준은 최첨단 (state-of-art) 5축 (motorized) 스테이지 유닛을 사용하여 선택할 수 있습니다. 이 프로세스를 통해 각 검사 피쳐의 품질과 정확도를 최적화할 수 있습니다. TLB 139는 또한 자동 결함 인식 머신 (automated defect recognition machine) 을 갖추고 있으며, 희미하고 강한 결함과 핫스팟을 정확하게 자동 분류할 수 있습니다. 이러한 자동 기능에는 곡률, 명암비, 대칭, 크기 등 다양한 기능 설명자가 포함됩니다. 이 설명자를 사용하여, 이 도구는 기존 구조에서 주기적 결함을 구별하고 특성화할 수 있으며, 교대 (shift), 정렬 (misalignments) 및 깨진 패턴 (broken pattern) 의 존재를 평가할 수 있습니다. 또한 ASM TLB 139에는 미리 정의된 매개변수와 사용자 정의 설정에 대한 포괄적인 데이터베이스 자산이 포함되어 있습니다. 모든 매개변수는 모델의 메모리에 구성되고 저장되며, 마스크 (mask) 및 웨이퍼 (wafer) 검사를 자동화할 수 있는 사전 설정 모드를 다양하게 선택할 수 있습니다. 이 장비는 또한 마스크 또는 웨이퍼 (wafer) 데이터 분석 및 보고 기능을 갖춘 마스크 또는 웨이퍼 (wafer) 의 노출 및 커버된 영역에서 금, 알루미늄, 구리 등 다양한 유형의 금속 층을 정확하고 안정적으로 검사할 수 있습니다. 전반적으로, TLB 139는 매우 다재다능한 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템으로, 최신 고정도 광학 장치 (optic) 와 고급 자동 (automated) 기능이 장착되어 기본 및 복잡한 기능을 매끄럽고 안정적으로 검사할 수 있습니다. 강력한 사용자 친화적 기능을 갖춘 ASM TLB 139 는 고속 패턴 검사 (Pattern Inspection) 및 결함 특성을 위한 효율적이고 포괄적인 솔루션을 제공합니다.