판매용 중고 ASM SOL 139 #9217617
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ASM SOL 139는 반도체 산업에 사용되는 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 생산 라인, 연구 개발 연구소 및 대학에 사용하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 4K Digital Brightfield, North Brightfield 및 Darkfield 이미징의 조합을 제공하여 구덩이, 스크래치 및 미립자와 같은 결함의 표본 표면을 검사하는 데 이상적입니다. SOL 139 장치는 정교한 광학 및 이미징 기술을 사용하여 마이크로 서킷 (microcircuit) 기능의 고해상도 이미지를 생성합니다. 표본 표면에서 가장 작은 결함조차도 감지 할 수 있습니다. 고급 알고리즘을 사용하면 자동화된 결함 감지, 분류, 분류 및 정렬이 가능합니다. 이 기계는 또한 솔더 조인트 검사 또는 패턴의 임계 치수 측정 (critical dimensions of a pattern) 과 같은 작업에 대한 수동 결함 입력을 제공합니다. 이 툴은 모듈식 (modular) 과 개방형 (open) 아키텍처를 기반으로 구축되어 향후 작업을 위한 유연성과 업그레이드 기능을 제공합니다. 기존 운영 라인에 쉽게 통합할 수 있으며, 특정 애플리케이션에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. 모듈성 덕분에, 사용자는 각 애플리케이션에 대해 고유한 구성을 설계하거나, 기존 구성을 사용할 수 있습니다. 에셋의 중심 요소는 LED 조명 2.4 MP HD 카메라와 강력한 이미지 프로세서입니다. 이 모델에는 500x500 mm의 정밀 XZ 스테이지가 추가로 있습니다. 이 XZ 단계에는 조이스틱 컨트롤 (joystick control) 이 장착되어 있어, 사용자가 쉽게 표본을 조작하고 원하는 영역에 초점을 맞출 수 있습니다. 조이스틱을 사용하면 사용자가 초점을 수동으로 조정할 수도 있습니다. 또한 ASM SOL 139 장비는 자동 마스크 및 웨이퍼 로딩 및 언로드를위한 192 단계 모터 벨트 및 드라이브 모터를 갖추고 있습니다. 이 시스템에는 터치 스크린 (touch screen) 도 포함되어 있어 온보드 디스플레이를 직관적으로 제어할 수 있습니다. 이미지 데이터 저장을 위해 대용량 하드 디스크 드라이브 (Hard Disk Drive) 도 포함되어 있습니다. 전반적으로 SOL 139는 고해상도 이미징, 자동 결함 감지 및 분류, 직관적인 제어를 제공하는 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장치입니다. 모듈식 (modular) 설계를 통해 기존 운영 라인에 쉽게 통합되며 향후 애플리케이션을 위한 유연성을 제공합니다. 생산, 연구, 개발 실험실에서 반도체 표본을 검사하는 데 이상적인 기계입니다.
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