판매용 중고 ASM LBE140CC #9118771

ASM LBE140CC는 높은 정확도와 고속 중요 크기 (CD) 측정을 제공하는 고급 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 다양한 마스크 및 웨이퍼 크기에 대한 광범위한 측정 기능 (최대 600mm 크기의 마스크 (dimeter) 포함) 을 제공합니다. 고급 소프트웨어는 CD 측정, 라인 너비, 보호 레이어, 이상 및 결함에 대한 종합적인 검사 보고서를 제공합니다. LBE140CC는 광학 줌 (zoom) 렌즈를 통해 해상도를 향상시켜 측정된 데이터의 정밀도와 정확도를 높였습니다. 사용 가능한 확대율은 photomask 검사의 경우 최대 500배, 웨이퍼 검사의 경우 최대 100,000 배입니다. 이 장치는 또한 제어 심도 웨이퍼 및 마스크에서 3D 이미지를 측정하여 추가 결함을 감지하는 데 도움이 될 수 있습니다. ASM LBE140CC에는 모션 벡터 자동 초점 (motion vector autofocus) 및 초점 통계 알고리즘 (focus statistic algorithms) 과 같은 여러 자동 초점 기능이 장착되어 있으며, 이는 복잡한 마스크에서도 정확한 이미징과 넓은 시야각 범위를 제공합니다. 사전 정의된 '초점' 관심 영역 (ROI) 은 실시간 결함 수정 가능 및 조정 가능한 초점 수준으로 입력 및 모니터링할 수 있습니다. LBE140CC는 종합적인 분석 및 보고 기능을 제공합니다. 데이터 출력이 향상된 이중 해상도 및 분석이 특징입니다. 또한, 이 기계는 이미지의 자동 계산을 지원하여 다양한 라이브러리 이미지와 일치하는 (match) 비교를 자동화할 수 있습니다. 장비는 커브, 코너, 스크래치와 같은 다양한 기능을 정확하게 감지하고 분석할 수 있습니다. ASM LBE140CC는 손쉬운 운영 및 유지 관리를 제공하며 여전히 높은 정확성과 안정성을 제공합니다. 할로겐 (halogen), 레드 LED (red LED), 레이저 (laser) 와 같은 다양한 광원을 통해 운영자는 다른 응용 유형의 요구에 맞게 조명을 조정할 수 있습니다. 이 도구는 인체 공학을 위해 설계되었으며, 조작자 피로를 최소화하여 작동하기 쉽습니다. 요약하자면, LBE140CC는 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 기능을 제공하여 고정밀도 마이크로 패브릭을 위한 필수 도구입니다. 이 자산은 자동 초점 (autofocus), 이중 해상도 (dual resolution), 초점 통계 알고리즘 (focus statistic algorithms), 종합 분석 (comprehensive analysis) 과 같은 기능을 통해 최고 품질의 마스크 및 웨이퍼 검사를 달성하여 뛰어난 생산 품질을 보장하는 고급 솔루션입니다.