판매용 중고 ASM LBE139HCC #9118768

ASM LBE139HCC (ASM LBE139HCC) 는 정확하고 높은 해상도로 웨이퍼와 마스크를 검사하도록 설계된 자동 웨이퍼 및 마스크 검사 장비입니다. 웨이퍼 서피스의 서피스 지형, 결함 검사, 패턴 일치 검사를 측정 할 수 있습니다. 이 시스템은 고성능 CMOS 이미저, 고정밀 모터 및 고속 이미징 프로세서로 구동됩니다. CMOS 이미저 (Imager) 는 검사된 객체의 이미지를 매우 높은 해상도로 캡처하여 정확한 분석을 가능하게 합니다. 이 장치의 고정밀 모터 (high-precision motor) 는 개체 서피스의 제어 가능한 스캐닝을 위해 정확하게 제어 된 스테이지 이동을 보장합니다. 이미징 프로세서 (Imaging processor) 는 이미지 데이터를 실시간으로 처리하여 검사된 영역에 대한 강력한 분석을 제공합니다. LBE139HCC는 또한 선, 비아와 같은 구조의 형상을 측정하는 데 사용될 수 있습니다. 이 기계는 자동 OC 패턴 인식 (automated OC pattern recognition) 소프트웨어를 사용하여 검사된 객체에 대한 중요한 영역을 식별하고 선형 치수를 측정합니다. 또한 향상된 라인 피치 (line pitch) 해상도, 스캔 시간 단축, 등록 정확도 향상 등 여러 가지 향상된 성능을 제공합니다. ASM LBE139HCC는 고급 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 자산입니다. "와퍼 '와" 마스크' 에 대한 빠르고 정확 한 자동 "패턴 '과 결함 검사 를 한다. 고정밀 모터, CMOS 이미저 및 이미징 프로세서의 조합은 모델을 서피스 지형 측정, 결함 검사, 패턴 일치 검사, 구조 형상 측정에 이상적인 선택으로 만듭니다. 이 장비는 향상된 라인 피치 (line pitch) 해상도, 빠른 스캔 시간, 향상된 등록 정확도와 같은 고급 기능을 제공합니다.