판매용 중고 ASM LBE 139H #9266307

ASM LBE 139H는 반도체 산업에 사용되는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이중 초점 오브젝티브 렌즈와 고해상도 CCD 카메라가 장착되어 있어 DUV 마스크 (mask) 와 얇은 웨이퍼 (wafer) 모두에서 가장 작은 기능을 정확하게 캡처할 수 있습니다. 이 시스템은 소프트웨어 기반 이미지 분석 기술 (Software-based image analysis technology) 을 통해 고도의 정확도로 빠르고 정확한 결함을 감지할 수 있습니다. 이 장치는 오류, 긁힘, 먼지, 산화물, 오염, 마스크 및 웨이퍼 표면의 다른 입자 또는 물질을 감지 할 수 있습니다. 또한 배선 오류, 누락된 패턴, 결함, 잘못된 정렬 및 선 너비 분산을 감지 할 수 있습니다. 기계에서는 마스크 (mask) 나 웨이퍼 피치 (wafer pitch), 선 너비 (line width), CD 너비 (CD width) 와 같은 특성 값을 정확하게 감지하여 선 너비의 정확도를 측정하고 마스크 및 웨이퍼의 품질을 평가할 수도 있습니다. 또한 개방 또는 짧은 파손, 라인 너비 변형을 감지합니다. 또한, 도구는 웨이퍼 에치 및 드릴 조건에서 필름 균일성, 서피스 거칠기, 모니터 경향과 같은 비 차원 정보를 조사 할 수 있습니다. 이 자산은 광범위한 검사 범위와 높은 반복성 (repeatability) 을 갖추고 있어 DUV 마스크 및 얇은 웨이퍼의 품질을 보장하는 효과적인 도구입니다. 또한 자동 측정 및 분석 모듈 (Automated Measurement and Analysis Module) 이 장착되어 있어 대용량 마스크 또는 웨이퍼를 빠르고 정확하게 검사할 수 있습니다. 이 모델은 검사 영역의 스캐닝 속도 (scanning speed) 를 제어하고 동적 (dynamic) 및 정적 (static) 변형을 모두 보완하여 높은 측정 정확도를 보장할 수 있습니다. 또한 운영 및 실험실 조건에서 정확한 이미지와 데이터를 생성합니다. 게다가, 장비는 저항의 변형을 감지하고, 이미지와 결함을 모두 평가할 수 있다. 마지막으로, 이 시스템은 인체 공학적 사용자 친화적 인터페이스를 통해 쉽고 효과적인 작업을 수행할 수 있습니다. 또한 윤활유, 주기적 자동 청소, 응축 방지 등의 유지 보수 지원 기능도 포함되어 있습니다.