판매용 중고 ASM LBE 139 #9299471

ASM LBE 139 (ASM LBE 139) 는 조립 및 제조 전 결함을 감지하도록 설계된 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 마스크 및 웨이퍼를 검사할 수있는 매우 정밀한 광학 검사 머신 (최대 1/2 m) 입니다. 검사는 WLI (white light interferometry) 의 도움으로 수행됩니다. 이것은 백색광을 사용하여 고대비 이미지를 빠르게 캡처하고 소음이 낮고 정확도가 높은 정밀한 측정을 수행합니다. 이 장치는 고급 어댑티브 옵틱 (optic) 을 보완하여 향상된 이미지 품질과 균일 한 조명을 제공합니다. LBE 139의 전동식 광학은 최대 속도 200mm/s, 해상도 5발로 마스크를 가로 질러 움직일 수 있습니다. 은 (는) 검사의 측정 시간 프로세스를 크게 줄여 처리량을 높입니다. 또한, 스테이지에는 광학이 다양한 프로세스 높이에 적응할 수 있도록 2 개의 동적 초점 채널이 있습니다. 이 시스템과 함께 제공되는 소프트웨어 패키지 인 ASM Precision Inspector는 ASM LBE 139 기기와 전체 필드 도구에 모두 적용됩니다. 이 소프트웨어는 강력한 필터링 및 에지 감지 알고리즘으로 향상된 시각적 해석을 위한 고대비 이미지를 제공합니다. 이렇게 하면 사용자가 가장 작은 피쳐 크기를 보다 정확하게 측정할 수 있습니다. 이 소프트웨어는 또한 올바른 고속 스캔을 위해 전동 단계를 조정합니다. 또한, LBE 139 툴의 총 구매에 포함된 지속적인 유지 보수 및 지원이 제공됩니다. 여기에는 24/7 기술 지원 (현장 서비스 및 원격 진단) 을 통해 잠재적인 문제를 신속하게 해결할 수 있습니다. 전반적으로, ASM LBE 139는 신뢰할 수 있고 안정적인 마스크, 웨이퍼 검사 자산으로, 처리량이 향상되어 품질 결과를 제공할 수 있습니다. 가장 작은 결함을 찾아낼 수 있으며, 유지 보수 담당자 (maintenance staff) 가 필요할 때 도움을 줄 수 있습니다.