판매용 중고 ASM ISP-189 #9266308

ASM ISP-189는 레티클, 포토 마스크, 기판 및 웨이퍼를 높은 정확도로 검사 및 분석 할 수 있도록 설계된 고정밀 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 광학 검사 시스템 (Optical Inspection System) 은 최대 0.25 äm의 정확도로 여러 시야를 검사 할 수 있으며, 반복 가능성 0.1 äm은 매우 정확한 분석 결과를 제공합니다. 또한, 로봇 기능을 통해 한 검사소에서 다른 검사소로 빠르고 원활하게 이동할 수 있습니다. ISP-189는 모든 유형의 입자 유형, 임계 치수, 리소그래피 및 장기 편평 문제를 정확하게 평가 할 수있는 다양한 검사 기능을 포함합니다. 독보적인 "하위 단계 포커스 스캔 (Sub-Stage Focus Scan)" 을 통해 별도의 단계 또는 별도의 높은 확대 검사 장치 없이 결함 분석을 위해 상위 자녀 이미지를 캡처할 수 있습니다. 또한, 기계는 최적화 된 도량형 성능을 위해 고감도 다이 투 다이 오버레이 및 정렬 측정을 갖추고 있습니다. 통합 자동 초점 (autofocus) 기능은 반복되는 수동 초점 또는 스테이지 조정을 불필요하게 렌더링하므로 웨이퍼 및 레티클 검사를 크게 단순화합니다. 게다가, 공구의 다중 시야각 (multiple viewing angle) 은 웨이퍼나 레티클을 회전시킬 필요 없이 결함 모서리에 대한 고해상도 검사를 허용합니다. 또한 측정 기능에는 SNR 값, 각도 판단, 원 피팅, 타원 피팅, 최대 7 기울기 레벨 그라운드 뷰 검사와 같은 강력한 기능이 포함됩니다. 에셋은 또한 3D 검사 응용 프로그램과 같은 다양한 고급 기능을 갖춘 사용자 친화적 GUI (Graphical User Interface) 를 제공합니다. 이 모델의 3D 및 이미지 검사 기능을 결합하면, PPO (Pin-pointing) 및 장애 소스 진단을 통해 보다 깊은 검사 결과를 얻을 수 있습니다. 또한, 다양한 특수 소프트웨어 옵션은 문자 인식 응용 프로그램에 사용되는 OCR 소프트웨어 또는 PCB 검사를 위해 CAD (computer-aided design) 소프트웨어와 같은 특정 응용 프로그램 요구 사항에 적용됩니다. ASM ISP-189의 견고하고 안정적인 아키텍처는 가동 시간을 극대화하고 최적의 성능을 보장합니다. 네트워크 지원 기능을 통해 로컬 PC로/로컬 PC로 빠르고 원활하게 데이터를 전송하여 데이터 분석 및 스토리지를 구축할 수 있습니다 (영문). 또한, 체계적인 예방 유지 보수 (preventive maintenance) 기능을 통해 정기적인 조정 및 기타 비용이 많이 드는 유지 보수 작업이 필요 없습니다. 요약하자면, ISP-189는 고정밀도 도량형 결과를 실제 이미지로 전달할 수 있는 고급 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 검사 장비입니다. 고급 기능, 고성능 옵틱, 견고한 아키텍처, 직관적인 GUI, 사용자 친화적인 디자인으로 마스크, 레티클, 웨이퍼, 기판의 검사 및 분석에 이상적인 선택입니다.