판매용 중고 ASM ISISP-189 #9396588

ASM ISISP-189는 반도체 제조 공정을 위해 설계된 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 완전하게 자동화된 웨이퍼 핸들러 및 빠른 설정 시간을 위한 자동 정렬이 특징입니다. ISISP-189에는 630 nm 레이저 광원, 고해상도 흑백 카메라, 포함 된 소프트웨어와 수동으로 정렬하거나 자동화 할 수있는 옵틱 스테이지 (optics stage) 가 장착되어 있습니다. 이 시스템은 최대 150mm 직경의 마스크 (mask) 와 웨이퍼 (wafer) 모두에서 결함을 측정하고 감지 할 수 있습니다. 마스크 또는 웨이퍼를 검사할 때 ASM ISISP-189는 브라이트필드 (brightfield) 와 다크필드 이미징 (darkfield imaging) 을 모두 사용하여 모든 결함의 고해상도 이미지를 캡처합니다. 이 장치는 박막 (Thin Film) 과 패턴 (Patterned) 구조에 모두 최적화되어 하드 결함과 소프트 결함을 정확하게 감지 할 수 있습니다. ISISP-189는 또한 "like-images" 와 같은 반복 구조를 식별 할 수 있습니다. "like-images" 는 다양한 웨이퍼 또는 다른 프로덕션 실행에서 동일한 복제 간의 사소한 차이를 신속하게 식별하는 데 사용될 수 있습니다. 이 기계는 10 nm 미만의 정확도를 가진 우수한 웨이퍼 (wafer) 측정 기능을 가지고 있으므로 고급 칩 제조 프로세스에 이상적입니다. ASM ISISP-189에는 향상된 결함 감지 및 보고를 위한 고급 필터링 기능이 있습니다. 여기에는 각 검사에서 최대 정보량을 추출하는 하위 픽셀 필터링 (sub-pixel filtering) 기술이 포함됩니다. 이 도구는 또한 다양한 결함 분류 (defect classification) 및 보고 알고리즘 (reporting algorithm) 을 갖추고 있으며, 이미지 분석에 유용한 데이터로 결함 위치, 강도 및 모양을 변환 할 수 있습니다. 또한 ISISP-189 는 고급 데이터 분석 및 이미지 처리를 지원하는 강력한 소프트웨어 제품군을 갖추고 있습니다. 여기에는 특정 마스크 및 웨이퍼 검사 도구, 고급 이미지 처리, 자동 결함 추출, 이미지 재구성 및 필터링, 전체 엔지니어링 보고서가 포함됩니다. 이 소프트웨어를 사용하면 운영 프로세스에 사용되는 다른 자동 시스템 (automated system) 과도 쉽게 통합할 수 있습니다. 전반적으로 ASM ISISP-189는 강력하고 신뢰할 수있는 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 자산입니다. 고급 이미징 및 결함 감지 기능, 매우 정확한 웨이퍼 측정, 탁월한 필터링 기술을 갖추고 있습니다. 강력한 소프트웨어 제품군으로, 이 모델은 연구 및 산업 응용 프로그램 모두에 적합합니다.