판매용 중고 ASM ISIBE 139B #9396131
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ASM ISIBE 139B는 반도체 업계에서 품질 보증을 위해 설계된 고성능 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 밝은 필드와 어두운 필드 이미징 (dark-field imaging) 기술을 사용하여 보이지 않는 결함을 드러냅니다. 밝은 필드 이미징은 원격 중심 렌즈 및 MV-LED 조명을 사용하는 반면 어두운 필드 이미징은 구조화 LED 조명, F- 세타 렌즈 및 3 개의 디지털 마이크로 미러 장치 (DMD) 를 사용합니다. 이를 통해 브리징, 패턴 변위, 누락된 요소 결함 등 여러 마스크 결함 유형을 감지할 수 있습니다. 이 장치에는 마스크 및 웨이퍼 검사를 위해 선택할 수있는 몇 가지 기능도 있습니다. 고해상도 (Optic) 는 정교한 디테일을 제공하는 반면, 자동 초점 및 광학 왜곡 수정 기능은 선명한 이미지를 보장합니다. 또한, ISIBE 139B (Active Alignment Machine) 는 스테이지의 모든 변형을 보상하여 정확하고 안정적인 결과를 보장합니다. 이 도구는 또한 Batch Processing (일괄 처리) 기능과 같은 효율적인 작동을 가능하게 하는 여러 가지 기능을 자랑합니다. 이렇게 하면 여러 개 의 "웨이퍼 '즉 심지어 전체" 마스크' 를 한 번 에 스캔 할 수 있다. 또한 CD 측정, YieldPoint 분석, 결함 분류 등 다양한 자동 감지 및 분석 기능을 제공합니다. 따라서 각 이미지를 수동으로 검토하고, 주기 시간을 단축하고, 정확도를 높일 필요가 없습니다. 기술 기능 외에도 ASM ISIBE 139B에는 직관적이고 완전히 통합 된 사용자 인터페이스도 제공됩니다. 여기에는 대시보드 (dashboard), 이미지 라이브러리 (image library), 분석 도구 (analysis tools) 가 포함되어 있어 결과를 빠르고 쉽게 액세스 및 해석할 수 있습니다. 간단히 말해서, ISIBE 139B는 반도체 산업의 품질 보증에 이상적인 고성능, 비용 효율적인 마스크 및 웨이퍼 검사 자산입니다. 고해상도 이미징, 자동화된 프로세싱, 직관적인 사용자 인터페이스 (User Interface) 는 안정적이고 정밀한 솔루션을 필요로 하는 사용자에게 널리 사용되는 선택입니다.
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