판매용 중고 ASM IBE 139 #9266246

ASM IBE 139 (ASM IBE 139) 는 반도체 제조에 사용되는 레티클 및 웨이퍼 검사를 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 기존의 EUV (Extreme Ultraviolet) 마스크 및 웨이퍼 이미지 모두에서 입자 수준의 결함 및 불균일 성을 감지하도록 설계된 민감한 고속 이미징 스캐닝 시스템을 사용합니다. 이 장치는 두 가지 구성 요소 (프로젝션 렌즈 머신과 검사 소프트웨어가 장착 된 검사 광학) 로 구성됩니다. 투영 렌즈 도구는 DUV 렌즈, 스페이서 렌즈 및 이미징 카메라로 구성됩니다. "듀브 '" 렌즈' 는 검사 할 "마스크 '나" 웨이퍼' 에 "패턴 '의 균일 하고 왜곡 되지 않은" 이미지' 를 만드는 데 사용 된다. "스페이서 렌즈 '는" 스캐닝' 에셋 의 시야 에 맞게 "이미지 '를 확대 하고 조정 할 수 있다. 이미징 카메라는 이미지를 캡처하며, 입자 크기의 결함을 감지할 수 있습니다. 검사 소프트웨어는 여러 가지 알고리즘 모듈로 구성되어 있으며, 각각 다양한 유형의 결함 및 불균일 성을 감지하도록 설계되었습니다. 여기에는 교정 정확도 차이, 선 폭 및 결함 탐지가 포함됩니다. 소프트웨어는 자동화되어 있으며, 여러 마스크 수준에서 결함을 감지할 수 있습니다. 또한 소규모 입자 수준의 결함을 감지 할 수있는 패턴 인식 기술을 사용합니다. 이 소프트웨어는 사용자 친화적으로 설계되었으며 보고 및 데이터 내보내기 기능이 포함되어 있습니다. ASM IBE139는 고급 검사 모델입니다. 광범위한 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 응용 프로그램에서 입자 수준의 결함을 감지하도록 설계되었습니다. 고속 이미징 스캐닝 기능과 자동 감지 (Automated Detection) 알고리즘은 프로세스 효율성 및 품질 제어를 최적화하는 고급 솔루션을 제공합니다. IBE 139 는 반도체 제조에 필수적인 툴을 제공하는 경제적인 솔루션입니다.