판매용 중고 ASM IBE 109 #9396459

ASM IBE 109는 ASM International에서 설계 한 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 다양한 유형의 탐지기 (detector) 를 사용하여 마스크와 웨이퍼 필름을 모두 검사할 수 있는 완전 자동, 다중 축, 최첨단 시스템입니다. 이 장치에는 오버플로 카메라, FSI (Front side illumination), DSI (Double-side lumination) 및 CTF (Contrast Transfer Function) 카메라의 4 가지 최상위 검출기가 장착되어 있습니다. 오버플로 (Overflow) 카메라는 기계의 주 검출기이며 엄청나게 고해상도 이미지를 제공합니다. 정확도가 높은 고속 직선 스캔을 기반으로합니다. 다른 탐지기 들 이 탐지 하지 못하는, "필름 '에서 교묘 한 특징 을 탐지 할 수 있다. FSI 검출기는 투명 및 불투명 층으로 구성된 이기종 필름을 검사하는 데 사용됩니다. 고출력 조명과 그림자 이미징 (shadow imaging) 의 조합을 사용하여 필름 결함을 감지할 수 있습니다. DSI 검출기는 균질 필름 검사에 사용됩니다. 2 개의 광원이 장착되어 있어 필름 베이스 (film base) 와 레이어 (layer) 의 양면을 감지 할 수 있습니다. 공구가 필름 베이스와 레이어의 비주기적 (non-periodic) 및 주기적 (periodic) 결함을 모두 감지할 수 있습니다. 마지막으로, CTF 검출기는 필름의 노출 프로파일을 측정하는 데 사용됩니다. 고출력 이미지와 CTF (Contrast Transfer Function) 이미징 조합을 사용하여 저항층 (Resist Layer) 의 프로파일을 계산합니다. 또한 IBE 109에는 검출기 매개변수 및 측정을 제어 할 수있는 통합 소프트웨어 패키지가 있습니다. 이 소프트웨어는 필름 검사, 결함 평가, 배치 처리, 데이터 분석 및 다른 시스템으로 내보내기 (export) 를 제어하는 데 사용될 수 있습니다. 이 소프트웨어는 매개변수 검사에 대한 실시간 피드백을 제공할 수도 있으며, 각 검사 프로세스에 대한 세부 보고서 (Detailed Report) 도 생성할 수 있습니다. ASM IBE 109 (ASM IBE 109) 는 강력한 마스크 및 웨이퍼 검사 자산으로, 이기종 및 동종 영화를 검사하는 데 매우 정확하고 정확합니다. 소프트웨어 패키지는 다양한 기능을 제공하여 전반적인 검사 경험을 향상시킵니다. 빠르고, 효율적이며, 신뢰할 수 있는 성능을 갖춘 IBE 109는 모든 마스크 및 웨이퍼 검사 요구를 충족하는 안정적인 선택입니다.