판매용 중고 AMETEK / TAYLOR HOBSON i-Series PRO #293808007
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ID: 293808007
빈티지: 2020
Surface and contour measurement system
P/N: M112-105482
Inductive gauge system: 5 mm
Traverse unit, 120 mm
Motorized column, 450 mm (±9° Tilt)
Calibration ball
Stylus tips: 2μm, 60° / 90°
112-102577-01 CNC Y-Axis
Locating stage
112-1859 Self centering chuck
112-4902 Manual 3-Axis stage
Calibration:
Straightness: 0.114 µm
Gauge calibration – Pt: 0.079679 µm
Gauge 3-Line calibration: 0.826 µm
Gauge system noise: Rz 4 nm
Additional stylus:
(2) 112-4577-02
(2) 112-4593-02
(2) 112-4575-02
PC
Workstation
Dual monitor
UPS
Keyboard tray
2020 vintage.
AMETEK/TAYLOR HOBSON i-Series PRO는 반도체 제조 공정 및 기타 관련 산업에서 고정밀 표면 도량형 및 결함 감지를 위해 설계된 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 최첨단 장비는 최첨단 기술과 혁신적인 기능을 통합하여 품질 보증 (Quality Assurance) 및 프로세스 제어 (Process Control) 애플리케이션을 위한 정확하고 안정적인 측정 데이터를 제공합니다. AMETEK i-Series PRO의 중심에는 고해상도 카메라와 고급 광학 (optic) 을 활용하여 마스크와 웨이퍼 표면의 자세한 이미지를 캡처하는 정교한 이미징 시스템이 있습니다. 이러한 이미지는 고급 알고리즘 (advanced algorithm) 과 분석 도구 (analytical tools) 를 사용하여 샘플 서피스에 있는 지형, 황삭 및 결함에 대한 중요한 정보를 추출합니다. 이 장치는 나노미터 이하의 해상도 (sub-nanometer resolution) 에서 데이터를 캡처하여 원하는 서피스 특성에서 가장 작은 결함 및 편차 (deviation) 까지도 감지 할 수 있습니다. TAYLOR HOBSON i-Series PRO의 주요 기능 중 하나는 사용자 친화적 인 인터페이스로, 운영자는 실험을 쉽게 설정하고, 데이터를 캡처하고, 최소한의 교육이나 전문 지식으로 결과를 분석할 수 있습니다. 이 기계는 일반적인 서피스 도량형 (surface metrology) 작업에 대해 미리 구성된 다양한 측정 모드를 제공하며, 측정 매개변수 (measurement parameter) 와 분석 알고리즘 (analysis algorithm) 을 유연하게 구성하여 여러 응용 프로그램의 특정 요구 사항을 충족시킵니다. I-Series PRO는 거칠기, 파도, 형태 오류, 입자 오염 등 다양한 표면 매개변수를 측정 할 수 있습니다. 이 도구는 2D 및 3D 서피스 도량형 측정을 모두 수행 할 수 있으며, 여러 관점에서 샘플 서피스를 포괄적으로 특성화할 수 있습니다. 이렇게 하면 마스크/웨이퍼의 표면 특성과 품질을 철저히 파악할 수 있으며, 프로세스 최적화 및 품질 관리 (Quality Control) 를 용이하게 할 수 있습니다. 표면 도량형 외에도 AMETEK/TAYLOR HOBSON i-Series PRO에는 스크래치, 피트, 입자 및 패턴 편차와 같은 결함의 식별 및 분류가 가능한 고급 결함 감지 기능이 있습니다. 에셋은 머신 러닝 알고리즘 (machine learning algorithms) 과 패턴 인식 (pattern recognition) 기술을 사용하여 샘플 표면의 결함을 자동으로 감지하고 정량화하여 마스크와 웨이퍼의 품질과 무결성에 대한 귀중한 통찰력을 제공합니다. AMETEK i-Series PRO (AMETEK i-Series PRO) 는 다양한 샘플 크기와 모양과 호환되도록 설계되어 다양한 치수의 마스크 및 웨이퍼를 분석할 수 있습니다. 이 모델에는 전동 단계 (Motorized Stage) 와 정밀 위치 시스템 (Precision Positioning System) 이 장착되어 전체 샘플 표면에서 정확하고 반복 가능한 측정이 가능합니다. 이렇게 하면 복잡한 형상이나 불균일 서피스가 있는 샘플을 분석할 때에도 일관되고 신뢰할 수 있는 결과가 생성됩니다. 전반적으로 TAYLOR HOBSON i-Series PRO는 마스크 및 웨이퍼 검사를위한 최첨단 솔루션으로, 반도체 제조 및 관련 산업에서 표면 도량형 및 결함 감지에 대한 고급 기능을 제공합니다. 고성능 이미징 장비, 사용자 친화적 인터페이스, 종합적인 측정 기능을 갖춘 i-Series PRO는 반도체 제작 프로세스의 품질 관리, 프로세스 최적화, 생산성 향상에 유용한 툴입니다.
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