판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS UVision 7 #9271006

AMAT / APPLIED MATERIALS UVision 7
ID: 9271006
Brightfield inspection system, 12" 2011 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS UVision 7은 웨이퍼 및 포토 마스크의 결함을 식별하는 데 사용되는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 직접 패턴 결함, 모니터링 프로세스, 협업 향상, 결함 분류 정확성 보장, 처리량 증가로 복잡성 감소, 수율 증가 등의 효과를 제공합니다. AMAT UVision 7은 하전 입자 빔 광학 시스템을 사용하여 기판에서 이미징 및 프로브 데이터를 얻습니다. 이 기술은 광전자 렌즈, 광전자 가속기 및 광전자 검출기를 사용합니다. 이러한 컴포넌트는 전자를 참조하고 마스크 (mask) 나 웨이퍼 (wafer) 의 표면을 변형시키지 않고 고해상도 이미지를 생성합니다. 그런 다음 이 이미지를 높은 배율로 검사하여 잠재적 결함을 정확히 파악합니다. APPLIED MATERIALS UVision 7에는 웨이퍼 결함 식별을위한 직접 음극 조명 장치가 포함되어 있습니다. 이 기계는 형광 화면을 사용하여 표면 기능 보기를 향상시킵니다. 화면의 밝은 점은 서피스 레벨이나 구조에서 불완전함을 나타냅니다. UVision 7 은 또한 전체 웨이퍼 표면을 동시에 분석하는 full-field imaging 툴을 갖추고 있습니다. 따라서 결함 또는 구조적 약점을 포괄적으로 파악할 수 있습니다. 즉, 결함이나 구조적 약점 (structural weakness) 을 파악하고, 주의가 필요한 영역을 신속하게 파악할 수 있습니다. 사용자와 고객 또는 공급업체 간의 공동 작업을 강화하기 위해 AMAT/APPLIED MATERIALS UVision 7 에는 원격 검토 기능과 의사 결정 지원 툴이 모두 포함되어 있습니다. 원격 검토 (Remote Review) 기능을 통해 전 세계 시설의 결함 검토 및 협업을 수행할 수 있습니다. 의사 결정 지원 툴은 자동화된 결함 분류를 지원하여 복잡성 및 운영자 워크로드를 줄입니다. 또한 AMAT UVision 7에는 특허 출원 중인 Active Pattern Learning 기능이 포함되어 있습니다. 이 피쳐는 시간이 지남에 따라 서피스의 변화하는 패턴을 지속적으로 모니터링하며, 새로운 패턴 (New Pattern) 이나 변경된 패턴 (Changing Pattern) 을 신속하게 식별하여 잠재 결함을 방지할 수 있습니다. 전반적으로 APPLIED MATERIALS UVision 7은 이미징 및 프로브 기능, 웨이퍼 결함 식별을위한 직접 음극 조명, 전체 표면을 한 번에 분석하는 풀 필드 이미지, 공동 작업 및 의사 결정 지원 도구를 향상시키는 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 자산입니다. 복잡성. 특허 출원 중인 Active Pattern Learning (Active Pattern Learning) 기능은 새로운 패턴 또는 변경된 패턴을 식별하여 잠재 문제를 방지합니다. 이 모델은 다양한 기능과 함께 생산량을 높이고 복잡성을 줄여 포토마스크 (photomask) 와 웨이퍼 (wafer) 의 고품질 생산을 보장합니다.
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