판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS UVision 7 #9270850

AMAT / APPLIED MATERIALS UVision 7
ID: 9270850
Brightfield inspection system.
AMAT/APPLIED MATERIALS UVision 7 장비는 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템입니다. 이 장치는 운영 및 R&D 애플리케이션을 위해 설계되었으며, 프로세스 제어, 결함 감지, 항복 분석을 한 단계 높일 수 있는 다양한 기능을 제공합니다. AMAT UVision 7은 이중 및 선형 2D 모자이크 스캔 알고리즘의 독특한 조합을 사용하여 넓은 영역 측정에서 최고 수준의 반복 성과 정확도를 제공합니다. 이 기계의 최첨단 광학 서브시스템 (optical sub-system) 은 기존 시스템의 최대 10 배의 광학 성능을 제공하는 반면, 사용자 정의 가능한 광원은 전체 결함 유형에 대해 최대 288 nm 의 조명을 제어할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS UVision 7은 3D 유형 구조에 대해 스펙트럼적으로 변하지 않는 뒷면 조명 모드를 특징으로하며, 이를 통해 고해상도 이미징 및 익스트림 구조 검사를 수행할 수 있습니다. 첨단 소음 감지 및 감소 (advanced noise detection & reduction) 기술은 백그라운드 노이즈를 억제하여 약한 결함 또는 숨겨진 결함의 감지를 향상시킵니다. UVision 7은 또한 CDU, 구덩이, 융기, 긁힘, 잔류 물, 조각 및 브레이크와 같은 광범위한 결함을 감지합니다. 자동화된 교정 및 자체 점검 기능은 결함 감지에 필요한 반복 성과 정확성을 제공합니다. 이 툴에는 스크래치 억제, 자동 검증/분류, 결함 클러스터링 등의 통합 소프트웨어 옵션이 포함되어 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS UVision 7의 감지 감도는 3.2nm, 고해상도는 최대 25nm/픽셀, 범위는 최대 16 마이크로미터입니다. 이 자산은 초점 심도 조정 (depth-of-focus adjustment) 을 통해 지역 지형 변화의 경우에도 고해상도 이미징이 일관되게 유지됩니다. 게다가, 대규모 데이터 세트에서 보다 정확하게 감지할 수 있도록 같은 (same-die) 및 between-die와 같은 여러 비교 기능을 제공합니다. AMAT UVision 7은 또한 골판지, 세밀한, 축축 및 오프 축 기판을 포함한 광범위한 표면 및 기판 재료를 지원합니다. 고성능 안정성을 위해 제작되었으며, 업계 표준 테스트 인터페이스, 직관적인 GUI (Graphical User Interface), 작업 및 패턴 생성 도구, 직관적인 기본 소프트웨어 장치 등 다양한 통합 옵션을 제공합니다.
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