판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS UVision 5 #9375213

AMAT/APPLIED MATERIALS UVision 5는 마스크 및 웨이퍼 검사 세계에서 일하는 제품입니다. 짧은 학습 곡선 (short learning curve) 을 갖춘 매우 자동화된 장비로 신뢰할 수 있고 다양한 기능을 제공합니다. 이 도구는 355nm UV 레이저 조명과 6 원형 CCD 카메라를 사용하여 최대 3000X의 배율에서 웨이퍼 검토를 할 수 있습니다. 이 도구는 대형 웨이퍼 맵 (wafer map) 을 정확하게 검토하여 패턴 인식 속도를 높이고 거짓 거부 (false rejections) 를 줄입니다. 설계 규칙 위반을 식별하는 데 도움이 될 뿐만 아니라, 시스템은 자동 분류 알고리즘을 적용하여 효율적이고 안정적인 패턴 인식 (pattern recognition) 을 보장합니다. 이 도구에는 또한 특정 수율 관련 핫스팟을 대상으로 하는 더 큰 영역에 대한 더 작은 기능 검토 (small feature review) 를 위한 유연한 사전 구성된 하위 필드 영역이 포함되어 있습니다. AMAT UVision 5는 매우 다양한 도구로, 다양한 기판 형상을 검사할 수 있습니다. 비 "사각형" 칩의 뚜렷한 패턴과 게이트 사이드 월 (gate sidewall) 구조와 같은 구조물을 쉽게 검사 할 수 있습니다. 패턴 결함을 감지하는 것 외에도 랜덤 노이즈 (random noise), 퍼지 모서리 (fuzzy edges), 선 너비 변형 (line width variation) 과 같은 결함 이상을 찾을 수 있습니다. 이 장치는 또한 자동 (Automatic) 및 수동 결함 분류 (Manual Defect Classification) 기능을 제공하여 사용자와 결함 감지 시스템 모두에서 장치 관련 오류를 더 잘 파악할 수 있습니다. 이 도구는 또한 자동 초점 교정 및 드리프트 조정을 특징으로하며, 하위 nm 해상도에서 10 시그마 반복성에 대한 패턴 지정 및 일관된 성능을 제공합니다. 또한 자동 (automated) 기능은 사용자 정의 설정을 제거하고 수동 튜닝을 대폭 줄여 보다 일관되고 반복 가능한 측정값을 제공합니다. 또한 간편한 패턴 검토, 주석 작성, 선택 등을 지원하는 사용자 친화적 GUI 를 갖춘, 에셋 인터페이스도 사용이 간편합니다. 또한 데스크탑에서 즉시 완벽한 작업 및 품질 관리 기능을 제공합니다. 결론적으로, APPLIED MATERIALS UVision 5 모델은 오늘날의 반도체 제조 시설에서 마스크 및 웨이퍼 검사를 위해 설계된 신뢰할 수 있고 다양한 도구입니다. 정확한 패턴 검토, 결함 감지 기능, 신뢰성 있는 측정을 위한 자동 설정 등을 제공합니다. 또한 사용자 친화적인 GUI를 통해 패턴 검토, 주석 작성 및 선택 작업을 간편하게 수행할 수 있습니다.