판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS UVision 5 #9219645
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AMAT/APPLIED MATERIALS UVision 5 장비는 마이크로일렉트로닉스 마스크 및 웨이퍼 검사 응용 프로그램 솔루션으로, 엔지니어가 다양한 회로에 대한 결함 및 잠재적 수율 손실을 감지할 수 있도록 설계되었습니다. 프로세스 가시성과 항복 최적화를 위한 높은 처리량 결함 분석 기능을 제공합니다. AMAT UVision 5 시스템은 광, 전기, 자동 검토 기능을 하나의 플랫폼으로 통합하여 작동합니다. 이를 통해 엔지니어는 마스크와 웨이퍼 특성을 빠르고 정확하게 분석 할 수 있습니다. 전체 결함 검사/검토 프로세스를 완벽하게 자동화하며, 실시간 인텔리전스 (Intelligence) 및 잠재적 결함 플래깅을 제공합니다. 이 장치는 검사 과정에 대한 자세한 보고서를 제공하므로 엔지니어가 문제의 원천과 본질을 신속하게 확인할 수 있습니다 (영문). 검사 과정은 시각적 (visual) 및 근사광선 (near-IR) 이미징을위한 파란 빛, 어두운 필드 현미경을 포함한 시각적 빛의 조합으로 구동됩니다. 이를 통해 정확하고 빠른 결함 감지 및 검사가 가능합니다. 자동 검토 프로세스는 인공 지능 기반 알고리즘을 사용하여 광학 특성을 해석하고 결함을 식별합니다. 따라서 처리량과 정확도가 향상됩니다. 또한 APPLIED MATERIALS UVision 5 머신은 정교한 결함 분류 및 측정 기능을 제공하여 결함을 신속하게 분석 및 판별할 수 있습니다. 또한 라인 너비 측정, 피치 측정, 오버레이/정렬 검사 (overlay/alignment inspection) 등의 고급 측정 작업을 지원하므로 엔지니어가 회로 레이아웃과 해당 특성을 정확하게 검토할 수 있습니다. 또한 이미지 주파수 분석, 결함 클러스터링, 웨이퍼 패턴 인식, Critical Area 분석 등의 고급 결함 분류 작업을 수행할 수 있습니다. UVision 5 에셋은 엔지니어나 기술자가 자신의 제품에 대한 문제를 해결하고 생산량을 극대화할 수 있도록 안정적이고 비용 효율적인 툴을 완벽하게 패키지로 제공합니다 (영문). 다양한 인터페이스와 호환되며, 다양한 애플리케이션에 대한 포괄적인 검사 (inspection) 기능을 제공합니다.
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