판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS UVision 5 #9064274
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ID: 9064274
APPLIED MATERIALS UVision 5 Brightfield inspection system, 12"
Upgraded to UV5
Currently warehoused
2009 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS UVision 5는 반도체 제조에서 최고 수준의 정확성과 성능을 보장하도록 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. AMAT UVision 5는 사양을 정확히 충족하도록 설계되었으며, 반도체 제조업체의 구체적인 요구에 맞게 조정되었습니다. 이 시스템은 전체 웨이퍼 서피스를 다루며 차세대 고급 광학 장치 (Advanced Optics), 통합 이미지 캡처 장치 (Integrated Image Capture Unit) 및 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 갖추고 있습니다. APPLIED MATERIALS UVision 5에는 수직으로 움직이지 않고 웨이퍼와 마스크를 모두 스캔하기 위해 전기 스캔 스테이지가 장착되어 있습니다. 웨이퍼는 호 패턴 (arc pattern), 원 패턴 (circle pattern) 또는 선형 스캐닝 (linear scanning) 방향으로 스캔하여 전체 웨이퍼 서피스를 덮을 수 있습니다. "스캐너 '는" 마스크' 나 "웨이퍼 '의 가장자리 와 모서리 를 정확 하게 확인 할 수 있으며, 동시 에 반복 할 수 있고 재생 할 수 있는 측정 을 할 수 있다. UVision 5에 사용되는 고급 옵틱은 매우 상세한 이미징 기능을 제공합니다. 현미경의 최대 해상도는 2nm입니다. Optics 모듈에는 최적의 성능 및 이미지 처리 기능을 제공하기 위해 별도의 조명 채널이 포함되어 있습니다. 고화질 이미지 캡처도 사용할 수 있어 웨이퍼 (wafer) 또는 마스크를 시각적으로 자세히 검사할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS UVision 5의 통합 이미지 캡처 시스템은 카메라, 광원 및 제어 장치로 구성됩니다. 카메라는 고화질 (High Definition) 로 이미지를 캡처할 수 있으며, 정교한 유전체 다층 간섭 필터 도구의 초점면 배열 (extra-wide focal plane array) 을 포함하여 감도를 높일 수 있습니다. 광원은 또한 제어 가능하며, 응용 프로그램 요구에 따라 조정 할 수 있습니다. AMAT UVision 5의 그래픽 사용자 인터페이스는 직관적이고 사용하기 쉽습니다. 자산의 작동을 단순화하고 "웨이퍼 (Wafer) '나" 마스크 (Mask)' 를 검사할 수 있도록 배치하는 데 있어 사용자의 추측을 줄일 수 있도록 설계되었습니다. 이 소프트웨어에는 사전 설정된 이미지 라이브러리와 공간 분석 도구 (Spatial Analysis Tools) 가 포함되어 있어 결함 위치를 분석하고 결함을 식별할 수 있습니다. 결론적으로 APPLIED MATERIALS UVision 5는 반도체 제조 현장에서 탁월한 정확성과 성능을 제공하도록 설계된 전용 웨이퍼 및 마스크 검사 모델입니다. 고급 옵틱 (Optic), 통합 이미지 캡처 장비 (Integrated Image Capture Equipment) 및 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 는 사용자가 손쉽게 웨이퍼나 마스크를 검사하고 분석하여 반도체 업계에서 필요한 정확한 사양을 충족할 수 있도록 해줍니다.
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