판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS UVision 5 #293602517
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ID: 293602517
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2013
Brightfield inspection system, 12"
Process: Metro
2013 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS UVision 5는 반도체 생산에 사용되는 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 고유한 고급 이미징 (advanced imaging) 기술을 사용하여 전례 없는 정확도와 속도로 반도체 웨이퍼의 패턴을 식별하고 평가합니다. 간단하고 직관적인 작동과 유연한 데이터 출력을 제공함으로써, AMAT UVision 5 (UVision 5) 는 마스크와 웨이퍼의 품질을 연구하기 위한 고급적이고 효율적인 도구입니다. APPLIED MATERIALS UVision 5의 핵심 구성 요소는 이미징 장치입니다. 이 기계는 자외선을 사용하여 뛰어난 해상도와 정확도의 이미지를 제공합니다. 이 도구는 12 나노미터 (12 나노미터) 정도의 패턴을 캡처하고 반도체 웨이퍼에서 사소한 이상 또는 입자 오염을 감지 할 수 있습니다. Zeiss Versa Automated 10x 5NA 장착 광학의 도움으로 자산은 초당 최대 100 개의 시야를 처리 할 수 있습니다. UVision 5는 고급 데이터 처리 기능도 제공합니다. 독점 소프트웨어는 이미징 모델의 현미경 (microscope) 및 사진 데이터 (photo data) 의 에지 데이터를 병합하여 웨이퍼의 결함, 불규칙 또는 기타 이상을 더 잘 식별합니다. 그런 다음 이 데이터를 Raw Data, Measure Data 및 Visual Information과 같은 다양한 행렬로 처리할 수 있습니다. 또한, 이 장비는 또한 웨이퍼의 여러 레이어 간에 데이터 융합을 통해 개별 경계에서 균일성 (unifority) 과 일관성 (consistency) 을 확인할 수 있습니다. 또한 AMAT/APPLIED MATERIALS UVision 5는 실시간 컨트롤을 통해 시스템 운영을 단순화합니다. 따라서 장치를 사용하는 동안 피쳐, 매개변수, 시각화 수준 (Visualization Level of Data) 을 편리하게 조정할 수 있습니다. 또한 AMAT HVM (High Volume Manufacturing), Atlas Software 솔루션과도 잘 통합됩니다. 따라서 사용자 경험을 간소화하고, 특정 프로젝트의 엔지니어링 업무에 소요되는 노력과 시간을 줄일 수 있습니다. 마지막으로 AMAT UVision 5의 데이터 출력 기능도 정확한 보고서 생성을 보장합니다. 이렇게 하면 시스템이 .csv, .txt, .xml, .vdm, .vmd 및 .mma 형식과 같은 다양한 산업 표준 형식으로 데이터를 내보낼 수 있으므로 데이터를 다른 도구로 자유롭게 가져올 수 있습니다. 결론적으로 APPLIED MATERIALS UVision 5는 복잡한 이미지 처리 기능과 고급 데이터 처리 도구를 자랑하는 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 자산입니다. 운영 단순성, 다중 레이어 (multiple layers) 및 고해상도 실시간 제어 (real-time control) 간의 데이터 융합, 이 모델은 모든 반도체 생산 환경에 강력하고 효율적인 도구입니다.
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