판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS UVision 4 #9222757

AMAT / APPLIED MATERIALS UVision 4
ID: 9222757
Brightfield inspection system.
AMAT/APPLIED MATERIALS UVision 4 장비는 반도체 제작 공정에서 주로 사용되는 강력하고 자동화된, 높은 처리량 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템입니다. 이 장치는 노출된 웨이퍼의 제조 결함 (manufacturing defect) 을 신속하고 정확하게 감지하도록 설계되었으며, 이로 인해 제조 장치 (manufactured device) 에서 성능 문제가 발생할 수 있습니다. AMAT UVision 4는 일련의 자동 프로세스와 고급 알고리즘으로 작동합니다. 이 시리즈는 UVLED 또는 레이저 라이트 (Laser Light) 와 같은 입사광으로 시작하여 샘플 스테이지의 웨이퍼로 연결됩니다. 입사 광원 (Incident Light) 은 웨이퍼 (Wafer) 표면에서 튀어 나와 표면의 예상 패턴에서 수차 또는 편차를 감지하기 위해 분석됩니다. 그런 다음 반사 이미지를 캡처하고 디지털화합니다. 그런 다음 이 디지털화된 정보를 APPLIED MATERIALS UVision 4 시스템에 로드된 예상 데이터 라이브러리와 비교합니다. 모든 불규칙성 (imrulularity) 이 감지되고 전자 신호 (electronic signal) 가 전송되어 시각적 디스플레이의 불일치가 강조됩니다. 그런 다음 UVision 4에서 수집 한 데이터를 사용하여 분석 할 수있는 보고서를 생성합니다. 이 업계에서 Report 의 세부 사항과 정확성은 독보적입니다. 이 보고서에는 예상 표면 모양과 실제 표면 모양, 저항 필름 패턴의 비 균일 성 분석, 라인 모서리 거친 (line edge roughness) 평가 등이 비교되어 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS UVision 4 (AMAT/APPLIED MATERIALS UVision 4) 의 속도와 정확성을 통해 제조 과정에서 마스크와 웨이퍼를 빠르고 안정적으로 평가할 수 있습니다. 수동 검사 (manual inspection) 가 필요하지 않으며, 다른 수동 솔루션에 의해 감지되지 않는 제조 결함을 감지 할 수 있습니다. AMAT UVision 4 도구도 사용자 정의가 가능합니다. 광범위한 파장을 감지하고 알루미늄, 구리, 석영과 같은 다양한 기질을 스캔할 수 있습니다. 또한, 사용자는 기존 검사 알고리즘을 수정하거나 삭제하고, 특정 응용 프로그램에 맞게 사용자 정의 (custom) 알고리즘을 생성할 수 있습니다. 에셋에는 또한 라인 에지 거칠기를 추정하기 위해 고해상도 CCD 카메라와 빔 소스 선택 가능 탐지기 (selectable detector) 가 장착되어 있습니다. 또한 Wafer 의 다중 사이트 분석을 동시에 수행할 수 있습니다. 이렇게 하면 수집된 데이터가 대표적이고 정확합니다. APPLIED MATERIALS UVision 4 Model (APPLIED MATERIALS UVision 4 모델) 은 반도체 제작 과정에서 마스크와 웨이퍼를 종합적으로 평가 할 수있는 고급적이고 강력한 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 그 결과, 모든 제조 결함 을 신속 하고 정확 하게 탐지 할 수 있으며, 그 결과, 수율 이 향상 되고 비용 이 절감 된다.
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