판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS UVision 4 #9214942

AMAT / APPLIED MATERIALS UVision 4
ID: 9214942
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2009
Brightfield inspection system, 12" 2009 vintage.
AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS UVision 4는 복잡한 기술의 복잡한 결함을 파악하기 위해 설계된 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 주로 반도체 및 나노 전자식 응용 프로그램으로 구성되며, 고정밀, 3D 검사 이미징 기능을 제공합니다. AMAT UVision 4에는 "SpectraLite" 라는 독점 이미징 기술, HROC (High-Resolution Optical Characterization) 장치 및 고해상도 카메라 링크 카메라가 장착되어 있습니다. 이러한 구성 요소 조합을 통해, 품질 저하 없이 여러 웨이퍼 (wafer) 에 걸쳐 가장 작은 결함을 감지할 수 있는 빠르고 안정적인 검사 프로세스를 제공합니다. SpectraLite는 다음을 제공합니다. 어두운 필드와 밝은 필드 조명으로 높은 배율 이미징; 편광 된 조명; 적외선 바닥 표면 이미징. 이 조명된 이미징 프로세스를 통해, 기계는 기능 불일치, 작은 라인 모서리 거칠기, 결함이있는 접촉 열기, 표면 오염 등 작은 결함을 감지 할 수 있습니다. 또한 SpectraLite의 HROC 이미징 도구를 사용하면 다른 배경에서 특정 결함을 분리하여 선명하고 정확한 이미지를 만들 수 있습니다. APPLIED MATERIALS UVision 4는 또한 검사 데이터를 지속적으로 수집하면서 웨이퍼를 조작하는 기능을 가지고 있습니다. 사용자는 웨이퍼를 재조정하고, 회전하고, 뒤집을 수 있고, 자산은 지속적으로 검사율을 유지할 수 있습니다. 또한 Camera Link 카메라는 디지털 확대/축소 기능을 갖춘 추가 고해상도 이미징을 제공합니다. 또한 UVision 4에는 몇 가지 정교한 검사 기능이 포함되어 있습니다. 이 모델은 브리징, 반바지, 잘못된 정렬 등 다양한 결함 유형을 감지할 수 있습니다. 또한, 이 장비는 다양한 패턴 인식 알고리즘과 온도 조절 공압 웨이퍼 척 (pneumatic wafer chucks) 을 제공하여 검사 프로세스 동안 웨이퍼가 안전하게 연결되어 있는지 확인합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS UVision 4에는 사용자에게 친숙한 시스템 인터페이스도 장착되어 있습니다. 이 직관적인 설계를 통해, 사용자는 심층적인 기술 지식 (technical knowledge) 을 갖지 않고도 장치가 제공하는 모든 검사 기능에 신속하게 액세스할 수 있습니다. GUI (Graphical User Interface) 는 자세한 정보를 이해하기 쉬운 형식으로 제공하도록 설계되었습니다. 전반적으로 AMAT UVision 4는 복잡한 결함을 식별하기 위해 설계된 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 기계입니다. SpectraLite 이미징, Camera Link 카메라, 패턴 인식 알고리즘 및 사용자 친화적 인 인터페이스를 조합하여 APPLIED MATERIALS UVision 4는 다른 것과는 달리 신뢰할 수있는 검사 도구입니다.
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