판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS UVision 4 #9182087

AMAT/APPLIED MATERIALS UVision 4는 웨이퍼 수준에서 고정밀 결함 검사를 제공하기 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 전통적인 광학 현미경 및 기타 자동 검사 기술에 무료입니다. AMAT UVision 4는 고감도 검출기와 결합된 고급 선형 광원 (LLS) 기술을 통해 웨이퍼 및 마스크 검사에 사용 가능한 최고 해상도와 감도를 제공합니다. 200mm 웨이퍼에서 0.5 미크론, 300mm 웨이퍼에서 0.3 미크론 크기의 결함을 감지 할 수 있습니다. 이는 결함 탐지에 가장 적합한 산업입니다. 검사 장치 (Inspection Unit) 에는 기계가 복잡한 결함 모양을 감지하고 대상 수율 개선을 위해 신속하게 분류 할 수있는 수많은 고급 이미지 (Advanced Image) 알고리즘이 포함되어 있습니다. APPLIED MATERIALS UVision 4의 컴팩트한 설계로 설치, 운영 및 유지 보수가 간편한 효율적인 환경을 제공합니다. 인간이 개입할 필요없이 빠른 카세트-카세트 (cassette-to-cassette) 작동을 위한 샘플 로봇을 갖춘 표준 플랫폼을 사용할 수 있습니다. 유연한 다크필드 이미징 포트 (darkfield imaging port) 와 쉽게 조절 가능한 샘플 스테이지 (최대 15 인치 높이) 로 향상된 공구 성능을 제공합니다. 이 자산에는 자동화된 하위 프로세스 추적 분석이 가능한 사용자 친화적 인터페이스 소프트웨어가 통합되어 있습니다. 또한 기존 현미경 기법과 비교하여 설치 및 유지 보수에 소요되는 시간을 단축할 수 있습니다 (영문). UVision 4는 또한 포함된 소프트웨어 도구 모음을 통해 귀중한 프로세스 제어 및 피드백 데이터를 제공합니다. 이러한 툴은 웨이퍼/마스크 (wafer/mask) 에서 중요한 결함 데이터를 수집, 분석하고, 웨이퍼 결함의 원인을 파악하고, 데이터의 통계 분석을 제공합니다. 이 피드백은 모델 사용자에게 프로세스 개선에 필요한 필수 정보 (Essential Information) 를 제공합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS UVision 4 장비는 설치 및 유지 보수가 간편한 공간 절약형 플랫폼에서 고성능 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 검사를 원하는 고객에게 적합합니다.