판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS UVision 4 #293585584

AMAT / APPLIED MATERIALS UVision 4
ID: 293585584
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2008
Brightfield inspection system, 12" 2008 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS UVision 4는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 미세한 결함의 결함 감지, 크기 조정 및 신호/소음 판별에서 뛰어난 성능을 제공합니다. 이 시스템은 향상된 처리량, 신호 대 잡음 감지 비율 및 결함 해상도를 제공합니다. 또한 정밀 측정 및 자동 결함 보고서 생성을 제공합니다. 이 장치는 여러 가지 핵심 구성 요소를 통합한 개방형 아키텍처 플랫폼 (open architecture platform) 을 기반으로 합니다. 처리된 웨이퍼 (wafer) 또는 마스크 내의 결함을 매우 정확하게 감지하고 측정할 수 있도록 대형 이미지 평면 (large image plane) 검출기가 사용됩니다. 이중 스캔 이미징 머신 (dual-scan imaging machine) 을 특징으로하며, 전송 및 반사 광 이미징 기술을 결합하여 일관성 있고 신뢰할 수있는 결함 신호를 낮은 잘못된 경보 속도를 제공합니다. 이것은 정상적인 빛으로 미세 결함을 검사하여, 배경 환경에 최소한의 영향을 미치는 미세 변형 (microscopic deformities) 을 감지 할 수 있습니다. 이미징 도구에는 고급 조명 에셋 (고급 조명 에셋) 도 포함되어 있습니다. 여기에는 UV, 가시 광원 및 적외선 광원이 포함되어 결함의 특성을 적절히 드러냅니다. 이를 통해 정확한 크기 및 위치 예측이 가능합니다. 또한, 이 모델은 스루포커스 스캐닝을 사용하여 더 나은 결함 해결을 위해 최적화된 초점 단계를 제공합니다. 이 장비는 또한 계측 제어 소프트웨어 (Instrument Control Software) 를 제공하여 사용자에게 시스템 기능 및 분석을 제어하는 포괄적 인 수단을 제공합니다. 이 소프트웨어를 사용하면 장치의 감지 기능과 상태 모니터링 (Status Monitoring) 을 설정하고 최적화할 수 있습니다. 또한, 이 기계는 측정 도구, 완전 자동 결함 검토 도구, 피쳐 추출 (feature extraction), 결함 분류 에셋 (defect classification asset) 등 광범위한 분석 도구를 제공합니다. 이러한 기능을 통해 AMAT UVision 4는 마스크 및 웨이퍼 검사를위한 강력한 도구입니다. 정확한 측정과 결함 보고서 생성 (defect report generation) 을 제공함으로써, 생산에 들어가기 전에 일관된 품질의 결함이 감지됩니다. 또한 뛰어난 이미징 기능과 다양한 분석 도구 (analysis tools) 를 제공하여 운영자가 마스크 및 웨이퍼 검사 프로세스를 손쉽게 모니터링하고 관리할 수 있습니다. 요컨대, 마스크 (mask) 와 웨이퍼 (wafer) 내의 결함 감지를 위한 신뢰할 수 있고 다양한 모델을 제공하여 반도체 산업을위한 탁월한 도구입니다.
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