판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision #9235570

AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision
ID: 9235570
Defect review system, parts system.
AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision은 높은 수준의 검사 정확성과 처리량을 제공하도록 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 웨이퍼, 마스크, 레티클 플레이트에서 패턴 결함을 감지하는 데 사용되며, 다른 기존 검사 도구에 비해 뛰어난 이미지 품질, 정확도, 속도를 제공합니다. 이 장치는 작은 기능과 결함에 대한 빠르고 정확한 분석을 제공하며, 반도체와 평면 패널 디스플레이 (Flat-Panel Display) 제조업체가 생산량을 극대화하고 프로세스 변형을 최소화할 수 있습니다. 이 기계는 광학 엔진 (Optical Engine), 호스트 컨트롤러 (Host Controller) 및 모두 연결된 지능형 디지털 현미경으로 구성됩니다. 광학 엔진은 고해상도 광학 검출기, 분광기 및 광원으로 구성됩니다. 광학 탐지기 (optical detector) 는 샘플에서 빛을 모은 다음 디지털 형태로 저장합니다. 그런 다음, 분광계 (Spectrometer) 는 이미지를 여러 방울 (droplet) 로 분리하며, 각각은 샘플에서 나오는 파장의 빛을 나타냅니다. 광원은 광학 탐지기 (optical detector) 가 이미지를 캡처할 수 있도록 샘플에 빛을 투영하는 데 사용됩니다. 호스트 컨트롤러 (Host Controller) 는 추출된 드롭릿으로 구성된 디지털 현미경 (Digital Microscope) 의 정보를 처리하고 결과 이미지를 표시합니다. 추출된 데이터를 추가로 분석하기 위해 호스트 컨트롤러 (Host Controller) 를 타사 시스템에 연결할 수도 있습니다. 디지털 현미경 (digital microscope) 은 또한 샘플의 3D 표현을 제공하여 모호한 결함 위치를 완전히 분석 할 수 있습니다. 이 도구는 다른 시스템 및 구성 요소와 상호 작용할 수 있도록 다른 여러 도구 (tools) 와 소프트웨어 (software) 와 통합될 수도 있습니다. 따라서 자동화된 도량형 (Metrology) 및 분석 (Analysis) 애플리케이션의 데이터를 액세스하여 데이터를 통합 방식으로 수집, 분석, 표시할 수 있습니다. AMAT SemVision 마스크 (AMAT SemVision) 마스크 및 웨이퍼 검사 자산 (wafer inspection asset) 은 시장에서 가장 정확하고 신뢰할 수 있는 시스템 중 하나로, 효과적인 제작 프로세스에 필요한 유연성과 높은 수준의 정확성을 제공합니다. 포괄적인 데이터 수집/분석 기능으로 인해, 사용자는 운영 프로세스를 실시간으로, 포괄적으로 파악할 수 있습니다. 또한, 신속하고 정확한 데이터 수집, 직관적인 사용자 환경 (User Experience) 을 통해 사용자는 운영 프로세스 초기에 잠재적인 문제를 감지하고 진단할 수 있으며, 필요할 때 신속하고 정확한 결과를 얻을 수 있습니다.
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