판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision #9226926
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AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision은 반도체 제조를 위해 설계된 정교한 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 고급 옵틱 (optic) 과 뛰어난 시스템 성능 기능을 통해 다양한 기판에서 뛰어난 화질을 얻을 수 있습니다. 이 장치는 100nm 크기의 기능이있는 웨이퍼 기판을 검사 할 수 있습니다. 고급 옵틱 (optic) 과 고해상도를 통해 최대 0.25 미크론 (micron) 의 결함을 감지할 수 있으며 최대 500 배의 가변 확대도 가능합니다. 이 기계는 강력한 x- 선 검출기를 갖춘 주사 전자 현미경 (SEM) 을 특징으로하며, 막과 같은 얇은 필름을 통한 영상에 적합합니다. 또한, 자동 결함 감지 및 분류를 가능하게 하는 패턴 인식 (pattern recognition) 하위 시스템이 포함되어 있습니다. 이 검사 도구 (Inspection Tool) 에는 혁신적인 탐지 및 분류 알고리즘이 포함되어 있어 기존 기술로 감지하기 어려운 미묘한 결함을 감지 할 수 있습니다. 자산은 또한 입자, 여드름 및 입자를 감지 할 수 있습니다. 또한 강력한 이미지 처리 기능을 통해 처리량이 높아 시간당 최대 300 와퍼 (wafer/h) 의 운영 회선 속도를 제공합니다. 이 모델에는 레이저 정렬 포토 매틱 다이 등록 (Laser alignment forautomatic die registration), 쉬운 작동을위한 운영자 인터페이스, 자세한 기능 감지를 위해 조정 가능한 SEM 가속 전압 등 추가 기능이 있습니다. 이 장비는 수율 손실률이 낮은 대용량 생산을 위해 설계되었습니다. 즉, 고속, 고품질 이미징을 통해 유지 관리 비용 절감, 디바이스 생산량 증대를 통해 비용을 절감할 수 있습니다. 결론적으로 AMAT SemVision은 반도체 제조를 위해 개발 된 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장치입니다. 고급 옵틱, 뛰어난 시스템 성능, 뛰어난 이미지 품질을 위한 매우 민감한 이미징 기능을 갖추고 있습니다. 강력한 이미지 처리 기능으로 처리량 및 수익률이 증가하여 비용이 절감됩니다.
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