판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision #293622274

AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision은 AMAT가 개발 한 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 특허를 획득한 이 시스템은 빠르고 간편한 운영을 위해 높은 정확도와 슬롯 인 (slot-in) 프로그래밍을 제공합니다. 마스크 및 웨이퍼 검사 장치는 리소그래피 등급 적외선 광학과 듀얼 스테이지 스팟 라이팅 머신 (dual-stage spot-lighting machine) 을 결합하여 다양한 패턴으로 정확한 결과를 제공합니다. 자동 감지 (auto-detection) 알고리즘은 환경 변화를 없애고 공구가 높은 정밀도로 패턴을 모니터링할 수 있도록 합니다. 이 소프트웨어를 통해 사용자는 관심 영역을 선택하고 기판에 의심되는 결함을 볼 수 있습니다 (영문). 이를 통해 전체 웨이퍼를 수동으로 조사하는 데 소요되는 시간을 줄이고, 기존의 마스크 및 웨이퍼 검사 장비와 비교할 때 정확도를 높일 수 있습니다. 또한, 2 단계 스팟 조명 자산은 양수 (positive) 및 음수 (negative) 마스크 모두에서 작은 결함에서 정확성을 보장하며, 다른 유형의 검사 시스템에서는 보이지 않을 수 있습니다. 이 모델은 유연성을 고려하여 설계되었습니다. 이미지 분석 (image analysis), 패턴 인식 (pattern recognition), 입자 검출 (particle detection) 등 다양한 검사를 수행하는 데 사용될 수 있습니다. 사용자 인터페이스는 직관적이고 간단하여, 빠른 작업 설정과 구성을 가능하게 합니다. 또한, 이 장비에는 작업 설정을 단순화하는 최적화된 템플릿이 있는 검사 라이브러리 (Inspection Library) 가 포함되어 있습니다. 따라서 사용자는 특정 요구 사항에 맞게 시스템을 쉽게 사용자 정의할 수 있습니다. 배율, 숫자 조리개, 시야 (field of view) 와 같은 유연한 제어 매개변수에 의해 장치의 광범위한 사용자정의가 가능합니다. 이 기계는 또한 패턴의 기능 크기, 신호 대 잡음비, 동적 정렬 (dynamic alignment) 을 몇 초 만에 식별하는 완전 자동화된 유공자 (figure-of-merit) 하드웨어를 갖추고 있습니다. 마지막으로, 이 도구는 내부 보고서 생성기를 갖추고 자동화된 기록 보관 및 보고 기능을 제공합니다. 간단히 말해, AMAT SemVision 자산은 사용자 정의, 유연성 및 정확성을 갖춘 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 모델입니다. 이 장비는 빠르고 간단한 작업 설정 (job setup) 을 가능하게 하며, 높은 정확도와 단순하고 직관적인 사용자 인터페이스를 제공합니다. 강력한 기능 세트와 구성 가능한 특성 때문에 APPLIED MATERIALS SemVISION 시스템은 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 의 생산, 연구 및 개발에 이상적입니다.