판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision G5 #9132901
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판매
ID: 9132901
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2011
Defect review system, 12"
EFF and TB Mapper
Tin Resolution Target
Integrated EDX Spectrometer
EDX Stage Assembly
SW: V5.4.500
4 Colors Programmable Signal Tower
Operator Free Unpatterned Wafer Review
API & Voltage Contrast
G1 Load port
Standard G1 Panel
Moving Omron V640 − Carrier ID Reader
Light Curtain Connection
EVSI USA 208V 60Hz w/T.Ring
Standard EPDU
Bitcon for EQT robot
SemVision - 2x300 Ionizer
EDX Extreme
Leak Valve Option
SECS / GEM / HSMS Compatibility
2011 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision G5는 고급 기술 포토 마스크 및 반도체 웨이퍼의 결함을 감지하고 식별하기 위해 설계된 통합 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. AMAT SemVision G5 시스템은 Deep Flare ™ 를 포함한 다양한 고급 3D 이미징 기술을 활용하여 탁월한 결함 감지 감도를 제공합니다. 완전 자동 비디오 검사 (fully automated video inspection) 및 도량형 엔진 (metrology engine) 이 통합되어 웨이퍼와 마스크에 대한 빠르고 자동화된 결함 검토가 가능합니다. APPLIED MATERIALS SemVision G5 장치에는 고속 스트로브 및 CCD 카메라 머신이 장착되어 있습니다. 이 스트로브는 photomask 기능의 높은 대비 이미징을 제공하는 반면, CCD 카메라는 마스크 및 웨이퍼 표면에서 감광 결함을 감지하고 캡처합니다. 조정 가능한 조리개 (adjustable aperture) 는 이자의 칩 표면적 만 비추는 반면, 큰 시야는 입자를 포함한 표면 오염을 감지 할 수 있습니다. 딥 플레어 (Deep Flare) 기술은 여러 레벨 및 깊이에서 캡처된 여러 이미지 프레임을 사용하여 칩 내의 결함을 분석하고 크기와 심각도를 결정합니다. 딥 플레어 (Deep Flare) 를 사용하면 128nm 노드 패턴 미디어와 같은 고밀도 기능을 검사하여 소규모 결함에 대한 감도가 높아집니다. SemVision G5 Tool의 도량형 모듈은 포토 마스크 및 웨이퍼를 전체 칩 분석할 수있는 통합 프레임 워크입니다. 이 자산은 매우 자동화되어 있으며, 전문 분석 소프트웨어 (specialized analysis software) 가 포함되어 있어 더욱 빠르고 정확한 결함 검토가 가능합니다. 영상 검사 엔진 (Video Inspection Engine) 은 결함 측정의 정확성을 더욱 높이고 편리한 기록 검사 기록을 제공합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision G5는 동급 최강의 결함 감지 기술과 자동화된 도량형을 결합한 강력한 통합 마스크 및 웨이퍼 검사 솔루션입니다. 포토 마스크 (photomask) 와 웨이퍼 (wafer) 표면을 검사하는 데 적합하며 뛰어난 결함 민감도, 신뢰성 및 정확도를 제공할 수 있습니다.
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