판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision G5 #293589564

AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision G5
ID: 293589564
빈티지: 2010
Defect review system 2010 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision G5는 고성능, 프로세스 제어 및 비용 효율성을 위해 설계된 업계 최고의 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 반도체 리소그래피 (lithography) 작업에 이상적으로이 시스템의 고급 이미징 기술은 노출된 마스크와 완성된 웨이퍼의 고해상도 (high-resolution) 이미지를 캡처하여 상세한 가시성과 결함 분류를 제공합니다. G5는 혁신적인 완전 자동화 장치로서, 고급 이미지 처리 소프트웨어가 포함된 강력한 CPU/GPU 싱글 보드 프로세서를 사용하여 마스크와 웨이퍼를 검사합니다. 이 기계의 높은 확대, 고급 Lumenera 전송 단계는 6 인치 및 8 인치 웨이퍼 크기와 2 배 레티클 크기에 대한 자동 이미징을 제공합니다. 고성능 센서는 모든 결함 유형 (1äm 미만) 에 대한 선명한 이미지를 제공합니다. 이 도구는 TrueColor, Contrast ImageMasking, Chromatic Defocus와 같은 고급 분석을 사용하여 결함을 감지, 측정 및 분류합니다. G5 의 빠른 시동 및 최소한의 유지 보수 (maintenance) 는 매우 경제적인 검사 자산입니다. 단일 컴퓨터는 마스크 및 웨이퍼 검사 기능을 모두 제어하며, 모델은 고유 GGI 라이센스를 통해 AMAT/APPLIED MATERIALS Wafer Tracking Equipment와 완전히 통합됩니다. 이 장치의 고급 이미징 및 분석을 통해 고객은 정확한 인라인 3D 웨이퍼 이미지를 만들고, 45nm 노드 이하에서 CDI (Critical Dimension Inspection) 를 사용하여 기존 조건을 확인하고, 오염을 감지하고 오프라인 분석이 필요하지 않은 Deltas를 측정 할 수 있습니다. 이 시스템은 초기 검사 후 결함 우선 순위 지정 (defect prioritization) 에 사용될 수도 있는데, 이는 반복되는 결함을 신속하게 파악하고 수정하기 위해서입니다. G5는 대용량 생산에서 248nm, 193nm 및 157nm 레이저의 지속적인 출력 및 생산성 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 완전 자동화 장치 (Fully Automated Unit) 는 시간당 수백만 개의 이미지를 측정, 확인 및 분석하여 검사 시간을 줄이고 처리량을 향상시킬 수 있습니다. 통합 솔루션인 G5 는 운영 비용을 절감하고 프로세스 제어와 정확성을 높여 운영 목표를 달성할 수 있도록 합니다 (영문). 사용자는 G5 를 통해 제공되는 고급 분석 (Advanced Analysics) 을 통해 결함이 없는 고품질 (High-Quality) 제품의 생산과 지정된 제품 사양 내에서 이점을 얻을 수 있습니다.
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