판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision G5 HP #9399576
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AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision G5 HP Mask & Wafer Inspection Equipment는 다양한 재료 및 프로세스 계층에서 리소그래피 패턴을 빠르고 정확하게 검사하고 특성화하는 고성능, 고성능 시스템입니다. 이 장치는 고급 패턴 인식 기능, 프로그래밍 가능한 이미지 분석 도구 등 챔버리스 (chamber-less) 및 전체 필드 검사를 위한 포괄적인 기능 세트를 제공합니다. 결함, 치수 변형, 패턴 비균일성 (pattern non-uniformity) 등 다양한 리소그래피 문제를 감지하여 반도체 생산에서 타의 추종을 불허할 수 있습니다. G5 HP는 여러 기본 구성 요소를 포함하는 모듈식 아키텍처를 기반으로합니다. 기계의 중심에는 강력한 다목적 CCD 카메라가 있습니다. 이 카메라는 최대 1 미크론 (micron) 의 해상도로 이미지를 캡처할 수 있으며, 광원 변조 (modulation) 를 캡처할 수 있으며, 이는 효과적인 변조 전송 기능을 생성하는 데 사용됩니다. CCD 카메라는 온도 조절 카메라 도구에 들어 있으며 PC (PC) 와 동기화되어 자산을 실시간으로 제어할 수 있습니다. G5 HP는 카메라와 더불어 8 대 1 광학 줌 (optical zoom), 광시야각 (large field of view), 고급 이미징 광학 (optic) 을 탑재한 고급 모델급 광학 장비를 활용해 명암이 높은 작은 기능을 해결할 수 있습니다. 대화형 터치스크린 사용자 인터페이스를 사용하면 고급 기능 및 도구를 쉽게 사용할 수 있습니다. 즉, 상황에 맞는 도움말과 여러 언어를 지원합니다. 이 소프트웨어는 또한 고도로 발전되었으며 웨이퍼 (wafer) 및 마스크 패턴 식별 (mask pattern identification), 결함 및 치수 분석 (defect and dimensional analysis) 및 석판 패턴의 도량형 및 특성화를위한 전체 도구 세트를 제공합니다. 또한 고객의 요구 사항과 요구 사항, 표준 스크립트 라이브러리 (Library of standard script), 사용자 정의 툴을 손쉽게 구성할 수 있습니다. G5 HP는 견고한 설계와 검증된 시스템 엔지니어링 (System Engineering) 을 통해, 프로덕션 환경에서 안정적이고 안정적으로 사용할 수 있도록 설계되었습니다. 신속한 개발/구축을 위한 직관적인 고객 지원 머신 (customer support machine) 을 통해 유닛의 지속적인 개선이 강조됩니다. 이 도구는 또한 AMAT의 유명한 SemVision Inspect 및 DataMatch 소프트웨어 도구 모음에서 지원되므로 완벽한 제어 및 데이터 해석이 가능합니다. 이 자산은 대용량, 높은 처리량 생산 어플리케이션에 적합하며, 샘플링 속도가 높고 설치 공간당 비용이 저렴하여 정확한 결과를 얻을 수 있습니다.
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