판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision G3 Lite #9380470
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ID: 9380470
웨이퍼 크기: 6"-12"
빈티지: 2006
Defect review system, 6"-12"
ESC Controller
Mounting brackets
IPU
WHC
MEC
ITU
ETU
Load ports has been removed
Does not include:
EDX
Tilt
FIB
Dry pump
2001 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision G3 Lite는 고급 마스크 및 웨이퍼의 결함을 빠르고 정확하게 분석하도록 설계된 검사 장비입니다. 이 시스템은 혁신적인 이미징 (Imaging), 도량형 (Metrology) 및 마스크 검사 도구 (Mask Inspection Tools) 를 사용하여 가장 작은 결함까지도 감지하고 측정 할 수 있습니다. 이 장치는 적외선 현미경과 가시 현미경의 동시 작동을 위해 멀티 플렉서 (multiplexer) 로 설계되었으며, 속도 및 정확도가 향상된 뛰어난 해상도를 제공합니다. 이미지 매개 변수 및 자동 결함 감지를 정확하게 제어하기 위해 AMAT SEMVision Controller와 페어링됩니다. 이 시스템에는 또한 DLA Group D 스캔 알고리즘이 포함되어 있어, 빠르고 반복 가능한 분석 및 이전 소프트웨어 플랫폼과의 하위 호환성을 제공합니다. 이 도구의 초고해상도 이미징 기능을 통해 표면 결함과 입자를 정확하게 감지 할 수 있습니다. 기존/신흥 결함 소스를 평가할 수 있는 신뢰할 수 있는 기반을 구축하고, 마스크 메이커가 문제의 원인을 신속하게 파악하고 그에 맞춰 고칠 수 있도록 합니다 (영문). 또한, 에셋에는 최고 수준의 정확도를 보장하기 위해 패턴 인식 (pattern recognition), 모서리 감지 (edge detection) 및 컨투어 추적 (contour tracing) 을 포함한 강력한 마스크 검사 도구 모음이 포함되어 있습니다. AMAT SemVision G3 Lite는 디지털 저해상도 SEM (DLA Group D) 스캔, 패턴 인식 및 맵 델링 기술을 추가로 통합했습니다. 이 조합은 완전한 결함 그림과 웨이퍼 (wafer) 표면의 포괄적인 그림을 제공하며, 결함을 식별, 특성화, 지역화할 수 있습니다. 또한, 이 모델은 빠른 설치/구축 (fast setup and implementation) 을 위해 설계되었으며, 직관적인 소프트웨어 인터페이스를 통해 사용자가 작업을 빠르고 쉽게 수행할 수 있습니다. 또한, 장비는 네트워크 연결 온-웨이퍼 도량형 시스템과 상호 작용하여 빠르고 편리하게 분석 할 수 있습니다. 전반적으로 APPLIED MATERIALS SemVision G3 Lite 시스템은 사용자에게 고급 웨이퍼 및 마스크의 결함을 식별, 분석, 특성화하는 분석, 신속, 신뢰성 있는 방법을 제공합니다. 고급 이미징, 도량형 및 마스크 검사 도구를 사용하여, 이 장치는 추측을 제거하여, 명료하지 않은 정확도로 정확한 결과를 제공합니다.
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