판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision G3 Lite #9280960
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판매
ID: 9280960
Defect review system, 12"
Specifications:
± 0.05 mm (SEMI M28)
775 ± 25 um
Notched wafers
Carrier: (2) FOUPs 25wf, 12"
Interface: (2) FOUP (Continuous flow operation)
Supporting remote units
EBARA ES80 Dry and vacuum pumps
EPDU
UPS: 3 Phase, 208 V, 60 Hz
Vacuum block assembly
Fixed system configuration:
Wafer ID reader: Backside bar code wafer scribe reader
P I/O For OHT (Hokuyo): VERITYSEM AUTO5
Operator access switch: VERITYSEM AUTO8
Wafer mapping capable: Through beam mapper VERITYSEM-AUTO6
Optical FOV: Large optical FOV 100x um 20x and 2.5x
Communications protocol: SECS-II GEM+
HSMS 300 mm as VERITYSEM AUTO10, E84,E87,E90,E94 (TAR1.5)
Tilt capability: Tilt function NA
Contact hole profile grade: SECS capable output VERITYSEM-SYS2
Wafer stage: Anorad stage
Data back up: Monthly PM backup
EMO: One per side of main body and one on operator console
Interlocks: ETU Access panel
Signal tower:
Red / Yellow / Green / Blue:
Upper left of front and upper right section of loader on maintenance side
Installation requirements: CDA Bulk gas
(l/min) per SEMVision SSPS:
CDA Peak flow: 120
Ave flow: 16
LPOCs Req: 4
Electric supply: 120 V, Single phase, Peak flow: 1, 120 V
Water: (l/min) per SEMVision SSPS
PCW Peak flow: 75
Exclusive to G3
Stage: Z25 Oil, stage acceleration 1/4g, clean cables
Scan electronics: MEC
Computer: IP and WHC and MEC and EDX Computer
Power supply: HVPS, CDM
SEM Column: Column version NA
OM: DF/BD
Dry pumps not included
CE Marked
2007 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision G3 Lite는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 기판 및 회로 패턴에 대한 정확한 측정을 수행하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 개방형 모듈식 플랫폼 (Open Modular Platform) 을 기반으로 하여 기존 테스트 및 도량형 시스템과 쉽게 통합 할 수 있습니다. 고해상도 이미징 툴 (High-resolution Imaging Tools) 은 임계 레이어 (Critical Layer) 를 포함한 패턴 구조의 이미지를 정확한 측정이 가능하도록 충분히 높은 해상도로 얻을 수 있도록 합니다. 이 장치에는 고속 이미지 획득 기술 (High Speed Image Acquisition Technology) 이 있으며, 이를 통해 짧은 시간 안에 넓은 표면적을 분석 할 수 있습니다. 또한 정교한 이미지 처리 알고리즘을 통해 이미지를 향상시키고, 결함을 감지하며, 치수와 모양을 보다 정확하게 측정할 수 있습니다. 이 기계는 획득 한 이미지를 분석하기 위해 강력한 소프트웨어 도구 (Software Tools) 를 제공합니다. 이러한 도구를 사용하면 측정 (measurement) 과 참조 데이터 (reference data) 를 비교하고 설계 결함 또는 결함을 식별하는 데 사용되는 특정 기준을 검증할 수 있습니다. 이 도구에는 또한 선 너비, 최소 너비, 오버행, 선형, 모서리 거칠기, 접촉 너비, 에칭 깊이, 지름, 테이퍼 각도 등 다양한 매개 변수에 대한 정확하고 고해상도 측정이 가능한 다양한 측정 기능이 있습니다. 또한, 전송 (transmission) 및 반사 (reflection) 이미징 기능이 통합되어 기판의 여러 레이어 간의 절대 치수와 치수를 정확하게 비교할 수 있습니다. 이 자산은 또한 SEMI M13 표준 (SEMI M13 표준) 과 같은 업계 표준을 준수하므로 기존 도량형 도구와 호환됩니다. 또한 사용자 친화적 인터페이스 (user-friendly interface) 를 통해 사용자는 이 모델을 빠르고 효율적으로 설정하고 사용할 수 있습니다. 장비의 모든 기능과 기능은 웹 기반 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해 제어할 수 있습니다. AMAT SemVision G3 Lite (AMAT SemVision G3 Lite) 는 마스크 및 웨이퍼 검사에 이상적인 솔루션으로, 사용자가 기판 및 패턴에 대한 효율적이고 포괄적인 테스트 범위를 제공합니다. 이 시스템은 최신 옵티컬 (optical) 및 이미징 (imaging) 기술로 설계되었으며 강력한 이미지 처리 기능을 활용하여 뛰어난 화질과 정확도를 보장합니다. 사용자 친화적 인터페이스와 맞춤형 측정 루틴 (customizable measuration routine) 을 통해 다양한 애플리케이션에 적합한 솔루션으로, 처리량 및 제품 품질을 유지하면서 시간을 절약할 수 있습니다.
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