판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision G2 #9160447
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판매
ID: 9160447
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2002
Defect review system, 12"
Tool model: DRSEM G2
Loading configuration: TDK TAS300 Loadport
BROOKS Robot
Beam source: SE-Gun tip
Resolution: 4nm (1 keV at tilt 0°)
Column vacuum: < 5.0E-10 torr
Throughput: 11 Wafer/hr
SEM Accelerating voltage: 600 V - 15 kV
Magnification: 500x - 200000x
Multi perspective SEM imaging
Gun life time: >1 year
Optical microscope: 2.5x / 20x / 100x
Tilt: 0°, 15°, 45°
Image format: TIFF
Function:
Optical microscope
Automatic defect review
Automatic defect classification
Column tilt 45°
SDD
EDX Standard type
Component:
Main unit
Operator console
EPDU
UPS
FFU
Isolation block
EDX Compressor
System power rating: 208 VAC, 3-Phase
2002 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision G2는 결함 분석, 항복 및 프로세스 최적화, photomask 복구, 마스크 등록 및 정렬 분야에 대한 포괄적인 중요한 국제 표준 테스트를 수행하도록 설계된 최첨단 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템입니다. 이 제품은 마스크 기능에 대한 빠르고 정확한 평가에 사용되는 강력한 고주파 전자 빔 (E-Beam) 도구를 갖추고 있습니다. 또한 전자 빔에 의해 생성 된 이미지의 패턴과 결함을 자동으로 감지하는 데 사용되는 AFR (Automated Feature Recognition) 모듈이 있습니다. AMAT SemVision G2는 고해상도 웨이퍼 및 마스크의 2 차원 이미징을 제공하며, 이미징과 E-Beam의 직접 통합을 제공합니다. 이 고성능 시스템은 여러 레벨의 수직 및 측면 스캔 제어를 허용하며, 중요한 마스크 매개변수를 모니터링하는 미세 조정 (fine-tune) 알고리즘을 제공합니다. 프로세스 중심 프로그래밍을 지원하는 Allen-Bradley 의 Logix 5000 플랫폼과 통합되어 운영 환경 내에서 손쉽게 통합할 수 있습니다 (영문). APPLIED MATERIALS SemVision G2에는 여러 마스크 최적화 도구가 있습니다. 이미지 일치 (Image Match) 는 마스크 이미지에서 유사한 패턴을 식별하는 데 사용됩니다. 자동 정렬 및 비교 - 마스크 등록 및 정렬에 사용됩니다. 표면 및 구조적 특성을 향상시키기 위해 특별히 설계된 다양한 리드 프레임 향상 알고리즘 (leadframe enhancement algorithm). 이 제품에는 성능 향상과 정확성 향상을 지원하는 고급 E-Beam 컴포지팅 소프트웨어도 포함되어 있습니다. SemVision G2는 스테이지 모션을 최적화하는 데 도움이 되는 독보적인 레이어 인식 교정 기능을 제공합니다. 또한 자동 로컬 픽셀 조정 (Automatic Local Pixel Adjustment) 기능을 통해 수동 조정이 필요하고 오류 발생 가능성을 없앨 수 있습니다. 지능형 오류 식별을 허용하며, 최신 결함 분류를 지원합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision G2는 효율적인 웨이퍼 검사를 제공하며 종합적인 도량형 기능을 제공합니다. CMP (chemical-mechanical planarization) 결함, 분리 입자, 서브 미크론 입자 및 CMP (chemical-mechanical polishing) 공정 균일성을 포함한 다양한 공정 결함과 호환됩니다. 제품은 Si를 포함한 유전체와 TaN, Ta2O5 및 HfO2 레이어를 처리 할 수 있습니다. AMAT SemVision G2는 모든 하이엔드 웨이퍼 검사 어플리케이션의 요구를 충족시키는 다양한 도구를 제공합니다. 이 제품은 빠르고, 정확하며, 고성능 결과가 필요한 환경에 이상적입니다. MISRA-C + + 코딩 표준에 대한 포괄적인 지원이 제공되며, 업계 안전 표준을 준수하도록 구성할 수 있습니다.
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