판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision G2 Plus #9374700

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ID: 9374700
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2003
Defect review system, 12" CIM: SEC GEM Process: Metrology Handler Factory interface: (2) FOUPs (2) BOCVAC Pumps Uninterruptible Power Supply (UPS) A-Box 2003 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision G2 Plus는 웨이퍼 및 마스크의 결함을 검사 및 감지 할 때 가장 높은 수준의 정확성을 보장하기 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 1 미크론만큼 작은 결함도 있습니다. 이 시스템은 고급 컬러 전송 (color transfer) 기술을 사용하여 마스크와 웨이퍼를 정확하게 검사하고 결함 이미지를 대부분의 컬러 프린터 (color supported printer) 로 전송할 수 있습니다. 이 장치는 Tandem, darkfield 및 brightfield와 같은 여러 도구를 지원하여 웨이퍼 및 마스크의 다양한 결함을 정확하게 감지합니다. 또한 반도체 처리의 증가하는 다이 투 다이 (die-to-die) 요구 사항을 충족시키기 위해 여러 다이 검사의 스티칭을 지원합니다. 고급 포스트 프로세싱 기능으로 장애 감지 정확성도 향상되었습니다. 이 기계에는 다양한 영역 자동 초점 (multiple zone autofocus) 및 자동 중심 (autocentre) 기능과 같은 맞춤형 optic이 포함되어 있어 뛰어난 해상도 데이터를 제공합니다. 또한 사용자 정의 설계 이미지 확대 시스템을 포함하여 16 비트 단위로 분당 최대 8 개의 이미지로 최대 250X 의 배율을 높일 수 있습니다. 특수 필터링 (filtering) 및 이미지 개선 기술을 사용하여 결함 해상도가 향상된 고대비 이미지를 생성합니다. AMAT SemVision G2 Plus (AMAT SemVision G2 Plus) 에는 웨이퍼 및 마스크에서 다양한 결함 유형을 감지할 수 있는 강력한 이미지 처리 기능이 포함되어 있습니다. 완전 자동 마스크 검사 (Fully Automatic Mask Inspection) 모드는 이미지를 실시간으로 처리하며, 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 쉽게 사용할 수 있습니다. 또한, 이 도구는 다양한 마스크 유형에 대한 사용자 지정 분석을 제공하며, 빠르고 정확한 결함 진단을 가능하게 하는 고급 결함 인식 (advanced defect recognition) 모듈을 제공합니다. 또한 결함 계산 및 분석을위한 멀티 데크 이미징 에셋이 있습니다. 최대 4 단계의 결함을 감지 할 수 있으며 결함 조작 기능은 열린 결함, 반바지, 브리징, 솔더 볼, 스트레스 균열 및 기타 유형의 결함을 감지 할 수 있습니다. 통합 자동화 제어 모델은 수동 및 자동 작업을 모두 지원합니다. 엔지니어링 및 품질 관리를위한 고급 소프트웨어 제품군도 포함되어 있습니다. 또한, 이 장비는 다른 업계 표준 시스템과의 호환성을 보장하기 위해 여러 파일 형식 (예: 표준 TIFF 및 JPEG) 을 지원합니다. 마지막으로 APPLIED MATERIALS SemVision G2 Plus에는 신뢰성 있는 작동을 보장하기 위한 예비 전원 공급 장치, 부품 등의 고급 시스템 수준의 안정성 기능이 포함되어 있습니다. 고객 지원 패키지 (온라인 및 전화 지원) 도 포함되어 있습니다.
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