판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision CX #9227401

AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision CX
ID: 9227401
웨이퍼 크기: 8"
SEM Review station, 8".
AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision CX는 고급 반도체 장치 생산을 위해 설계된 웨이퍼 및 마스크 검사 장비입니다. 1 차 초점은 수율 억제 결함의 예방을 통해 고 수율 이미지와 궁극적으로 더 높은 수율을 얻는 것입니다. 입자 오염, 스크래치, 치핑, 패턴 편차 등의 제조 결함을 감지할 수 있습니다. 이 장치는 장치에서 논리 회로 (logic circuit) 에 이르기까지 모든 제품 범주에서 패턴 차원의 정밀도를 보장하여 제품 품질 (product quality) 을 향상시키고 생산량을 높이도록 설계되었습니다. 이 기계는 고급 디지털 이미징 매핑 (advanced digital imaging mapping) 기술을 활용하여 사람의 눈에 보이지 않는 미묘한 결함을 감지합니다. 이 도구는 또한 수작업 없이 자동 오류 수정 (automated error correction) 및 결함 있는 마스크 교체 (replace) 를 지원합니다. 이 자산에는 거친 (coarse) 에서 초미세 (ultra-fine) 까지 다양한 검사 해상도가 있으며, 다양한 어플리케이션에 대해 뛰어난 디테일과 정밀도를 제공합니다. 이 모델은 또한 구리, 알루미늄, 포토 esist, 텅스텐, 불투명 재료 등 여러 표준 및 고급 재료에 대한 광범위한 호환 검사를 지원합니다. 이미징 기술은 새로운 세대의 디자인 집약적 재료를 검사하는 데 이상적입니다. 이 장비는 다중 계층 검사 (multi-layer inspection) 도 가능합니다. 즉, 사용자는 한 번의 패스로 장치의 전체 레이어를 검토할 수 있습니다. 이를 통해 프로세스 효율성을 크게 향상시킬 수 있습니다. 물리적으로 AMAT SemVision CX는 컴팩트하며 5 축 동력 단계, 수동 휠 모니터 및 Teflon 베어링이있는 0.25 인치 반음계 스틸 프레임이있는 6 인치 XY 기판 단계를 포함합니다. 이렇게 하면 운영 중 디바이스를 자동으로 검색할 수 있습니다. 이 시스템에는 반공 광학 장치, 고정밀도 이미징 광학 장치, 입사광 조명을위한 고정도 웨이퍼 이미지 스티그메이터, 자동 결함 감지를위한 고급 무광 이미징 머신 (No-Light Imaging Machine) 이 포함 된 고급 광학 패키지도 포함되어 있습니다. 요약하자면, APPLIED MATERIALS SEM VISION CX는 자동 오류 수정 및 결함 마스크 교체, 차세대 설계 집약적 소재 검사에 적합한 이미징 기술, 높은 정확도를 제공하는 고급 optics 패키지 (optics package) 를 갖춘 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 도구입니다. 이 자산은 생산 수익률 (Production Yield) 과 제품 품질 (Product Quality) 을 향상시켜 궁극적으로 비용 절감과 보다 효율적인 생산 프로세스를 실현할 수 있습니다.
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