판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision CX #111258
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판매
ID: 111258
빈티지: 1998
Automated SEM Review System, 8"
Includes:
- SEM resolution of 4nm at 1KV with SEM Perspective Imaging
- High Resolution Color Optical Microscope
- SEM 45 Degree Tilt and 360 Degree Rotation
- Automated Review Flow
- Two (2) 8" Cassette Stations
- Interface to Inspection Tools (KLA, Tencor, Orbot)
SEM Based ADC Package
SEMV-OPT2.
Integrated EDX Spectrometer Integrated Energy Dispersive X-Ray Spectrometer (Nitrogen Free Cooling)
SEMV-OPT3
COMMUNICATIONS OPTION:
SEC-II GEM Compatible Host Communication
Software: SEMVision CX
Unpatterned Wafer Review CX
SEMVision API Retrofit
SEMVision Cx Plus Beta
Warehoused
1999 vintage.
AMAT (APPLIED MATERIALS) AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision CX는 완전히 자동화된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 가장 까다로운 어플리케이션 요구 사항에 적합한 뛰어난 이미지 캡처를 제공합니다. 고급 옵틱 (Optic), 감지 (Sensing), 이미징 (Imaging) 기술을 결합하여 효율적이고 경제적인 방식으로 우수한 품질의 최종 제품을 제공합니다. AMAT SemVision CX는 마스크 및 웨이퍼 단계를 검사하는 동안 마이너 오정 (minor misalignments), 거칠기 (roughness), 스크래치 (scratch), 크리티컬 치수 정확도 및 서피스 평면 (surface planarity) 과 같은 중요한 매개변수를 식별하고 추적합니다. 업계의 어떤 시스템보다도 높은 '검사 속도' 와 '정확도' 를 제공하도록 설계되었습니다. 여러 웨이퍼 (wafer) 및 마스크 (mask) 유형에 걸쳐 일관되고 정확한 검사 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 각 웨이퍼 (wafer) 또는 마스크 (mask) 이미지를 몇 초 안에 캡처하는 고해상도 카메라로 구성되어 있습니다. 표준 반도체 웨이퍼 및 마스크, 실리콘-온-인슐레이터, 매장 된 레이어 및 3D IC를 사용하는 마스크 등을 검사하는 데 사용할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS SEM VISION CX에는 두 가지 혁신적인 광 구성이 포함되어 있으며, 이 구성은 다양한 유형의 장치 구조에 최적화되어 있습니다. 또한 양면 이미징 장치를 사용하여 전면 (Front) 과 후면 (Back) 이미지를 동시에 캡처하여 포괄적인 검사를 수행할 수 있습니다. 이 기계는 또한 고급 모서리 탐지 알고리즘 (advanced edge-detection algorithm) 을 사용하여 웨이퍼 또는 마스크의 피쳐 모서리를 정확하게 감지합니다. APPLIED MATERIALS SemVision CX (APPLIED MATERIALS SemVision CX) 는 간편한 도구 탐색과 시각적 진단 및 계층적 목록 탐색을 위한 친숙한 그래픽 인터페이스를 제공합니다. 자산에는 데이터 전송을 위한 USB 포트가 장착되어 있어 빠르고 쉽게 설치할 수 있습니다 (영문). AMAT/APPLIED MATERIALS SEM VISION CX에는 결함, 거칠기 및 기타 결함의 검사를 포함한 데이터 분석 소프트웨어도 포함되어 있습니다. 또한, 최종 제품 정확도를 제공하기 위해 표면 거칠기, 평탄도, 다이 크기 (die size) 를 측정하는 데 사용될 수 있습니다. 또한, 모델을 사용하여 웨이퍼 매핑, 패턴 인식 및 추적 가능성, 도량형 및 결함 분류를 수행 할 수 있습니다. 전반적으로 AMAT (AMAT/APPLIED MATERIALS) SEM VISION CX는 향상된 마스크 및 웨이퍼 검사 기능을 제공하여 처리 속도를 높이고 운영 프로세스의 효율성을 향상시킵니다. 생산량을 높이고, 비용이 많이 드는 결함을 줄일 수 있는 능력을 갖추고 있어, 제조업체들이 지속적으로 변화하는 반도체 환경에서 경쟁력을 유지할 수 있도록 도와줍니다.
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