판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision CX Plus #9205642
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판매
ID: 9205642
웨이퍼 크기: 8"
Defect review system, 8"
Tool performences:
ETU
ITU
TILT
OM
PAL
Stage
Rotation
SEM:
Vacuum
Minimodule values
EDX:
Temperature
Calibrated.
AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision CX Plus는 반도체 업계에서 사용하도록 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 고급 시스템에는 Ellipsometer, SIM (Surface Inspection Module) 및 강력한 통합 소프트웨어 패키지가 있습니다. 고급 장치는 HD 해상도, 웨이퍼 컨투어 및 확인, 수많은 측정 기능, 낮은 소유 비용을 제공합니다. 타원계 (Ellipsometer) 는 매우 정밀하게 웨이퍼의 재료 레이어를 모니터링하도록 설계되었습니다. 웨이퍼를 분석하기 위해 단일 및 다중 스펙트럼 편광을 사용합니다. 이 기계는 해상도 1nm로 최대 30nm의 레이어를 검사 할 수 있습니다. 이 타원계는 또한 광저온 및 유전체 재료에 대한 저온 측정 모드를 지원합니다. SIM (Surface Inspection Module) 은 표면 지형, 오염, 응력 등을 자세히 분석 할 수 있습니다. 포함 된 9.1 메가 픽셀 CCD 카메라는 고해상도 이미징을 가능하게하여 웨이퍼의 가장 작은 결함을 포착합니다. 또한, SIM은 3D 이미징 기술을 사용하여 장치 성능을 모니터링하는 데 사용할 수 있는 서피스 프로파일 (surface profile) 을 신속하게 얻을 수 있습니다. CX Plus 는 강력한 소프트웨어 패키지를 통합합니다. 하드웨어의 모든 기능을 손쉽게 액세스할 수 있게 해 줍니다. 즉, 한 번에 여러 웨이퍼를 관리할 수 있는 기능, 검사 도구의 정확도를 극대화하는 강력한 최적화 도구 (Optimization Tool) 가 있습니다. AMAT SemVision CX Plus는 반도체 업계에서 사용하도록 설계된 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 자산입니다. 이 모델에는 9.1 메가 픽셀 CCD 카메라가있는 Ellipsometer와 Surface Inspection Module이 있습니다. 이 장비는 해상도가 1nm 인 최대 30nm (최대 30nm) 의 레이어를 검사할 수 있으며, 웨이퍼에서 가장 작은 결함을 감지 할 수 있습니다. 또한 CX 플러스 (CX Plus) 는 모든 하드웨어 기능에 쉽게 액세스할 수 있는 통합 소프트웨어 패키지를 갖추고 있으며, 강력한 최적화 툴을 통해 정확성을 극대화할 수 있습니다.
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