판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision CX-DR #9172574

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마스크 & 웨이퍼 검사
제조사
AMAT / APPLIED MATERIALS
모델
SemVision CX-DR
ID: 9172574
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2000
Defect review system, 8" EDS Capability Image tilt capability ADR (Auto defect review) capability Inspection type: Optical System: Mainframe Operator console Component FFU Pump rack Pump 1&2 EDX Compressor EPDU Interconnect cables IP Hard drive Octane hard drive High current column liner installed (250p-amp) 80μm Liner tube Image processor: 2.4 GHz 1400x1400 Pixels Improved cooling HVU-ELS Option (FOCI) SECS II / GEM Communication interface Side and top detectors EDWARDS E2M80, E2M40 pumps Voltage: 208 volts Frequency: 50/60 hertz Phase: 3+1 Current: 40A 2000 vintage.
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AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision CX-DR은 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 오늘날 까다로운 반도체 포장 및 검사 응용프로그램에서 볼 수 있는 까다로운 요구 사항을 해결하도록 설계되었습니다 (영문). 이 시스템은 AMAT의 유명한 Prober ™ 플랫폼과 통합되어 탁월한 자동화 및 속도 수준을 제공합니다. AMAT SemVision CX-DR은 고급 옵틱, 고해상도 이미징, 패턴 인식, 강력한 소프트웨어 (소프트웨어) 의 조합을 활용하여 마스크 및 웨이퍼 검사를 위한 자동화된 완벽한 솔루션을 제공합니다. 이 단위는 웨이퍼 (wafer) 표면에서 입자와 결함을 감지하고 마스크 표면에서 비정상적인 결함을 발견 할 수 있습니다. 이것은 CCD 이미징, 간섭 기술, 뒷면 형광 이미징 및 자동 표면 측정 기법의 4 가지 광학 기법의 조합을 사용하는 기계의 자동 결함 검토 (DR) 기술을 통해 가능합니다. 이 기술은 또한 자동 결함 분류를 허용하며, 이는 표면 이상을 정확하게 정렬하고 분류 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS SemVISION CX-DR에는 결함 감지 기능 외에도 여러 가지 지능형 기능이 포함되어 있어 빠르고, 더 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 이러한 기능에는 자동 검사 교정, 오버언더 (over-under) 노출을 감지할 수 있는 고유한 알고리즘 및 prober 오류 캡처 도구가 포함됩니다. 이 오류 캡처 (error capture) 에셋은 Probe 프로세스의 잠재적 오류를 감지하여 Wafer 테스트에서 가장 높은 수율을 보장하는 데 도움이 됩니다. SemVision CX-DR은 사용자에게 친숙한 인터페이스를 통해 설계되었습니다. 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스, Graphical User Interface) 를 사용하면 설정 프로세스 속도를 높일 수 있는 사전 설정 (Preset) 구성을 사용하여 모델을 빠르고 쉽게 설정할 수 있습니다. 그래픽 디스플레이는 터치 (touch-enabled) 방식입니다. 즉, 사용자가 사용자의 개별 요구에 가장 잘 맞도록 검사 디스플레이를 사용자 정의할 수 있습니다. 전반적으로 AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision CX-DR은 탁월한 정확성과 속도를 제공하도록 설계된 혁신적이고 포괄적인 웨이퍼 및 마스크 검사 장비입니다. 고급 옵틱, 고해상도 이미징, 패턴 인식 (pattern recognition), 강력한 소프트웨어 기능을 결합한 이 시스템은 가장 많이 사용되는 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템 중 하나입니다.
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